2005-05-09
org.kosen.entty.User@1af245fc
임종수(jslim043)
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Pattern wafer의 EPD를 Monitoring하는 과정에서 670nm 파장의 Source를 사용하여 반사되어 돌아오는 빛을 Signal을 분석하여 End point를 잡고 있습니다.
좀더 자세하게 설명드리면 우레탄 Pad 위에 Wafer를 올려놓고 Polishing 하면서 Window를 통해 Source가 Window를 거쳐 Wafer에 닿게되고 다시 반사된 파형이 Window를 통과하여 Detector에 이르게 됩니다.
이때 Detect된 파형을 분석하여 End point를 잡게되는데 초기에는 문제가 없으나 사용시간이 많아지면서 특정시간 이상이 되면 Error를 발생하곤 합니다.
따라서 추정원인으로는 사용시간에 따라 Pad의 두께가 마모되면서 얇아짐에 따라 나타나는 현상으로 보여지고 있으나 검증할 방법이 없어 대책을 마련하지 못하고 있는 실정입니다.
만약에 두께에 의한 원인으로 가정할 경우 그 해답은 굴절율과 두께와의 관계에 기인할 것으로 보이는데 Pad의 재질인 우레탄의 굴절율을 측정할 수 있는 방법들이 있는지? 있다면 그 방법에 대해서 알고 싶습니다.
- Refractive Index
- Urethane
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답변 1
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답변
김경만님의 답변
2005-05-13- 0
플라스틱패드가 평평한 판형으로 되어 있으면 아베 굴절계를 이용하시는 것이 간편합니다. 단 우레탄 패드가 투명해야 광선이 투과해서 굴절율을 측정할 수 있읍니다. 아베굴절계는 보통 액체의 굴절율 측정에 사용되는 굴절계이지만, 고체시료를 측정할 수 있도록 악세서리가 있는 것을 사용하시면 되고, 그런 것들은 안경 렌즈 제조회사들에 문의하면 쉽게 알 수 있읍니다. 고체형의 평평한 시편의 경우는 아베굴절계의 프리즘의 면적, 즉 6.3 X 12.7 mm를 이용한 시험편에 소량의 접촉액을 칠하고 프리즘 면에 밀착 시킨 후 일반적인 방법에 따라 측정합니다. 또한 접촉액은 시료로 적시지 않아야하기 때문에 시료의 굴절율보다 0.01 이상 큰 굴절율을 가진 물체를 이용한다. 저의 경우는 굴절율 1.65 이상의 고굴절 시편 측정시 1-BROMONAPHTHALENE을 접촉액으로 사용하였읍니다. 그러나 이 질문에서 처럼 두께에 굴절율이 의존한다고는 판단하기 어렵읍니다.