2005-05-11
org.kosen.entty.User@43d98927
박장식(park9044)
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저는 산업용 및 연구용 스퍼터링 장비를 개발하고 있는 데 기술적인 부분에 대해서는 많은 참고 문헌이 있어 활용하고 있습니다만, 국내 및 국외의 시장규모에 대해서는 참고할 만한 자료가 찾지 못하고 있는 실증입니다. 혹시 참고할 수 있는 자료가 있으면 알려주세요.
- sputtering
- thin film
- deposition
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
이호상님의 답변
2005-05-13- 0
>저는 산업용 및 연구용 스퍼터링 장비를 개발하고 있는 데 기술적인 부분에 대해서는 많은 참고 문헌이 있어 활용하고 있습니다만, 국내 및 국외의 시장규모에 대해서는 참고할 만한 자료가 찾지 못하고 있는 실증입니다. 혹시 참고할 수 있는 자료가 있으면 알려주세요. > 반도체제조용 증착기술에 대한 특허청 신기술조사회 자료인데 내용중에 시장자료도 나와있으니 참고하시기 바랍니다. http://www.patentmap.or.kr/pm_inquiry/2003_pdf/10.pdf