2005-08-31
org.kosen.entty.User@49cf196b
박장식(park9044)
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스퍼트링으로 상호 부착력이 우수한 박막을 제작하려고 합니다.
(1)Cu 박막과 Ag 박막 상호 부착력
(2)Ag 박막과 Sus 박막 상호 부착력
(3)Sus 박막과 Ag 박막 상호 부착력
상기의 (1),(2),(3) 의 상호 박막의 부착력은 어떠하며 박막의 부착력을 높이 위해서는 박막 제작에서 어떠한 공정을 적용하면 적절하겠습니까
- thin film
- sputtering
- adhesion
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 4
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답변
김태환님의 답변
2005-09-06- 0
> > 스퍼트링으로 상호 부착력이 우수한 박막을 제작하려고 합니다. > (1)Cu 박막과 Ag 박막 상호 부착력 > (2)Ag 박막과 Sus 박막 상호 부착력 > (3)Sus 박막과 Ag 박막 상호 부착력 > > 상기의 (1),(2),(3) 의 상호 박막의 부착력은 어떠하며 박막의 부착력을 높이 위해서는 박막 제작에서 어떠한 공정을 적용하면 적절하겠습니까 우선 질문이 좀 모호한데요.. Cu박막과 Ag박막 이라는 말이 double layer를 말하는 건지요... 아님 구리기판에 은 박막을 말하는 건지요... 메탈과 메탈은 접착력이 좋지 않습니다. 특히 스퍼터는요 evaporation을 이용하면 접착력이 좋아지긴 합니다만~ 은이나 금등은 접착력이 좋지 않습니다. 그래서 중간에 buffer layer를 넣는 경우가 많습니다. 꼭 sputter를 이용해서 메탈을 올려야 한다면 박막을 아주 천천히 올려야 합니다. 그렇다고 파워를 낮추면 안되기 때문에 타겟과 sub.의 거리를 가능한 멀리(증착이 가능한 범위내에서)하고 고파워에서 공정압력을 가능한 높은 압력에서 증착하면 좀더 좋은 접착력을 얻을수 있습니다. 또한 sub의 표면 크리닝이 아주 중요합니다. 하지만 챔버밖에서의 크리닝도 아주 중요하지만 박막을 올리기 전에도 surface treatment를 해주면 접착력이 향상됩니다. 방법으로는 plasma를 이용해서 처리하는 경우도 있고, 온도를 올린후 수소가스를 넣어줘서 표면 크리닝을 하는 경우도 있습니다. -
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김기현님의 답변
2005-09-06- 0
> > 스퍼트링으로 상호 부착력이 우수한 박막을 제작하려고 합니다. > (1)Cu 박막과 Ag 박막 상호 부착력 > (2)Ag 박막과 Sus 박막 상호 부착력 > (3)Sus 박막과 Ag 박막 상호 부착력 > > 상기의 (1),(2),(3) 의 상호 박막의 부착력은 어떠하며 박막의 부착력을 높이 위해서는 박막 제작에서 어떠한 공정을 적용하면 적절하겠습니까 일반적으로 박막의 adhesion을 높이기 위해서는 주로 Cr, Ti, Ta등을 buffer layer로 주로 사용합니다. -
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김진철님의 답변
2005-09-06- 0
> > 스퍼트링으로 상호 부착력이 우수한 박막을 제작하려고 합니다. > (1)Cu 박막과 Ag 박막 상호 부착력 > (2)Ag 박막과 Sus 박막 상호 부착력 > (3)Sus 박막과 Ag 박막 상호 부착력 > > 상기의 (1),(2),(3) 의 상호 박막의 부착력은 어떠하며 박막의 부착력을 높이 위해서는 박막 제작에서 어떠한 공정을 적용하면 적절하겠습니까 모두 이 분야에 같은 고민을 하고 있습니다. 제일 좋은 방법은 금속을 이온화시켜 이온화 된 금속을 가속하여 박막화하면 그 접착력은 대단합니다. 가속전압이 100KeV정도면 1마이크로 정도 박히니까요. 이렇게하기가 쉬운일이 아니므로 타겠을 이온 크리닝을 한 후 spurtering을하면 접착력은 좋아지지요. 경북대에 쎈서 박막에 이용하는 실험이 이런방법이거든요. -
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고상운님의 답변
2005-09-06- 0
> > 스퍼트링으로 상호 부착력이 우수한 박막을 제작하려고 합니다. > (1)Cu 박막과 Ag 박막 상호 부착력 > (2)Ag 박막과 Sus 박막 상호 부착력 > (3)Sus 박막과 Ag 박막 상호 부착력 > > 상기의 (1),(2),(3) 의 상호 박막의 부착력은 어떠하며 박막의 부착력을 높이 위해서는 박막 제작에서 어떠한 공정을 적용하면 적절하겠습니까 스퍼터링 방법에서...부착력을 높이는 방법은 (1) 박막 두께를 올리는 방법...스퍼터링 속도를 늦추는 방법 (2) 파워를 높이는 방법 (3) 니켈,크롬등 base층을 도포 후 박막 코팅하는 방법등이 있습니다.