2005-09-16
org.kosen.entty.User@702bb6b
서영호(yhseo94)
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알루미늄이 산화되어 생기는 알루미나(Al2O3)를 화학약품을 이용하여 습식식각(wet etching)하는 방법 이외에 건식식각(dry etching)하여 제거하는 방법이 있나요?
미리 감사드리고, 즐거운 한가위 되세요.
- etching
- dry etching
- alumina
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
한치환님의 답변
2005-09-22- 0
알루미나를 건식 식각하는 방법으로 Sand Blaster법이 있습니다. 정확한 업체명은 기억이 나지 않지만 국내에서도 몇몇의 업체에서 Sand Blaster법으로 알루미나 식각을 해주고 있는 것으로 알고 있습니다. >알루미늄이 산화되어 생기는 알루미나(Al2O3)를 화학약품을 이용하여 습식식각(wet etching)하는 방법 이외에 건식식각(dry etching)하여 제거하는 방법이 있나요? > >미리 감사드리고, 즐거운 한가위 되세요.