지식나눔

Alumina(Al2O3) 건식 식각 방법

알루미늄이 산화되어 생기는 알루미나(Al2O3)를 화학약품을 이용하여 습식식각(wet etching)하는 방법 이외에 건식식각(dry etching)하여 제거하는 방법이 있나요? 미리 감사드리고, 즐거운 한가위 되세요.
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답변 1
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    한치환님의 답변

    알루미나를 건식 식각하는 방법으로 Sand Blaster법이 있습니다. 정확한 업체명은 기억이 나지 않지만 국내에서도 몇몇의 업체에서 Sand Blaster법으로 알루미나 식각을 해주고 있는 것으로 알고 있습니다. >알루미늄이 산화되어 생기는 알루미나(Al2O3)를 화학약품을 이용하여 습식식각(wet etching)하는 방법 이외에 건식식각(dry etching)하여 제거하는 방법이 있나요? > >미리 감사드리고, 즐거운 한가위 되세요.
    알루미나를 건식 식각하는 방법으로 Sand Blaster법이 있습니다. 정확한 업체명은 기억이 나지 않지만 국내에서도 몇몇의 업체에서 Sand Blaster법으로 알루미나 식각을 해주고 있는 것으로 알고 있습니다. >알루미늄이 산화되어 생기는 알루미나(Al2O3)를 화학약품을 이용하여 습식식각(wet etching)하는 방법 이외에 건식식각(dry etching)하여 제거하는 방법이 있나요? > >미리 감사드리고, 즐거운 한가위 되세요.
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