KOSEN 한인과학기술자네트워크

닫기

더 많은 혜택을 위해
로그인 하세요.

지식나눔

지식나눔

긴급질문!! TiO2(이산화티타늄) 에칭법

2005-10-18 org.kosen.entty.User@4c0b1c7f 최봉석(synkkan)
  • 2
현재 TiO2박막의 에칭법(에칭솔루션)을 찾고 있습니다. Wet, Dry상관없으며, 성능양호한 에칭솔루션좀 가르쳐 주십시요... 도저히 자료구하기가 힘드네요...ㅠㅠ
  • TiO2 Etchant
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변! 
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변하기
답변 2
  • 답변

    이재명님의 답변

    2005-10-18
    • 0

    첨부파일

    ppt파일입니다. 참고하세요. 저는 왕수와 불산으로 제거하였습니다.
    답변수정
    ppt파일입니다. 참고하세요. 저는 왕수와 불산으로 제거하였습니다.
    등록된 댓글이 없습니다.
  • 답변

    이재명님의 답변

    2005-10-18
    • 0
    RIE in CF4 Plasma at 0.12 torr, 100 W, etch rate 1.5 nm/s A. Matsutani et. al. in Japanese Journal of Applied Physics 30 (1991),p.428 을 참고하세요.
    답변수정
    RIE in CF4 Plasma at 0.12 torr, 100 W, etch rate 1.5 nm/s A. Matsutani et. al. in Japanese Journal of Applied Physics 30 (1991),p.428 을 참고하세요.
    등록된 댓글이 없습니다.
목록
목록