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Gold Etch하는 방법...

Au를 Etch하는 chemical로는 무엇이 있는지요? 혹시 있다면 Silicon Nitride나 Silicon Oxide에 비해 Etch Rate이 어떻게 되는지요? 감사합니다~~~
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답변 3
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    안길홍님의 답변

    Au etching 에 대한 목적이 없습니다. Au 를 etching 하여 어떠한 용도로 사용하고자 하는지 그에대한 후속 방안을 다시한번 What is?에 게재하여 주시기 바랍니다. Au는 고대로부터 만인이 원하여온 황금입니다. 몇 만년이 지나도 변하지 않는 것이 황금(Au)입니다. 변하지 않는 금속으로써 우주선의 외피에 황금 박박으로 사용합니다.또한 UV,중성자선등으로 부터 자유스러운 것이 바로 Au 입니다. 황금(Au)를 녹이는 방법은 있으나 Etching method는 무엇을 위한 궁극적인목적인지 궁금하군요???
    Au etching 에 대한 목적이 없습니다. Au 를 etching 하여 어떠한 용도로 사용하고자 하는지 그에대한 후속 방안을 다시한번 What is?에 게재하여 주시기 바랍니다. Au는 고대로부터 만인이 원하여온 황금입니다. 몇 만년이 지나도 변하지 않는 것이 황금(Au)입니다. 변하지 않는 금속으로써 우주선의 외피에 황금 박박으로 사용합니다.또한 UV,중성자선등으로 부터 자유스러운 것이 바로 Au 입니다. 황금(Au)를 녹이는 방법은 있으나 Etching method는 무엇을 위한 궁극적인목적인지 궁금하군요???
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    한용희님의 답변

    >Au를 Etch하는 chemical로는 무엇이 있는지요? 혹시 있다면 Silicon Nitride나 Silicon Oxide에 비해 Etch Rate이 어떻게 되는지요? > >감사합니다~~~ 보통 Au etchant로는 I2 와 KI의 혼합용액을 사용하며 SiN이나 SiO에 대한 선택비는 매우 우수합니다.(거의 에칭안된다고 봐도 무방함) 또한 Au etchant는 상품으로로 구매할 수 있습니다. 인터넷에서 Au etchant로 검색해보세요
    >Au를 Etch하는 chemical로는 무엇이 있는지요? 혹시 있다면 Silicon Nitride나 Silicon Oxide에 비해 Etch Rate이 어떻게 되는지요? > >감사합니다~~~ 보통 Au etchant로는 I2 와 KI의 혼합용액을 사용하며 SiN이나 SiO에 대한 선택비는 매우 우수합니다.(거의 에칭안된다고 봐도 무방함) 또한 Au etchant는 상품으로로 구매할 수 있습니다. 인터넷에서 Au etchant로 검색해보세요
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    이재명님의 답변

    >Au를 Etch하는 chemical로는 무엇이 있는지요? 혹시 있다면 Silicon Nitride나 Silicon Oxide에 비해 Etch Rate이 어떻게 되는지요? > >감사합니다~~~ 일반적으로는 왕수에 녹인다고 알고 있습니다. 질산+염산 1:3로 섞으면 됩니다.
    >Au를 Etch하는 chemical로는 무엇이 있는지요? 혹시 있다면 Silicon Nitride나 Silicon Oxide에 비해 Etch Rate이 어떻게 되는지요? > >감사합니다~~~ 일반적으로는 왕수에 녹인다고 알고 있습니다. 질산+염산 1:3로 섞으면 됩니다.
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