2005-12-22
org.kosen.entty.User@71853f00
조상연(whtkddus61)
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ITO투면전극 제조와 타겟소결등등....ITO투면전극에대해 전반적인 모든 것을 알고싶습니다!!
- jsy1234
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
임석묵님의 답변
2005-12-23- 0
>ITO투면전극 제조와 타겟소결등등....ITO투면전극에대해 전반적인 모든 것을 알고싶습니다!! 관련자료를 첨부합니다.참조하세요.. > -
답변
박장식님의 답변
2005-12-25- 0
>ITO투면전극 제조와 타겟소결등등....ITO투면전극에대해 전반적인 모든 것을 알고싶습니다!! >ITO 는 In2O3 (In 산화물) 90%, SnO2 10% 으로 구성되어 있는 투명하면서 전도성을 띤 화합물 반도체 입니다. Sn 의 3가와 In 의 4가 의 화학적인 결합으로 생성되는 전자가 1개와 산소 결함으로 생기는 전자 2개에 의한 전도성의 특성을 갖게 됩니 다. 디스플레이, 전자부품의 투명전도막으로는 95% 이상이 ITO 를 사용하고 있습니다. 산업용으로 사용하게 되는 투명전도막으로는 ITO 만 큼 안정된 전기, 광학적인 특성을 갖는 재료가 없습니다. 그리고 제작법으로는 주로 DC 혹은 RF 마그네트론 스퍼트링법에 의해서 박막을 제작을 하며 주입가스로는 Ar 가스와 미량의 산소를 주입해서 최 적의 비저항 치를 얻고 있습니다. 참고자료는 인터넷 혹은 www.kisti.re.kr 에서 검색하시면 필요한 자료 를 얻을 것으로 생각합니다. -
답변
한혁님의 답변
2006-01-03- 0
>ITO투면전극 제조와 타겟소결등등....ITO투면전극에대해 전반적인 모든 것을 알고싶습니다!! > Semiconducting transparent films 이라는 책을 보시면 좋을것 같습니다. 저자는 H L Hartnagel, A L Dawar, A K Jain, C Jagadish. 출판사는 Institute of physics publishing bristol and philadelphia.