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지식나눔

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TiO2 유전상수 측정

2006-02-10 org.kosen.entty.User@477b321b 신창근(shin9843)
  • 1
TiO2에 대한 연구를 하고있는 학생입니다. TiO2 유전상수를 측정하고자하는데요... 구체적인 측정방법과 예상 측정값을 알고싶습니다. (예를들어 측정시편의 두께나 크기, 온도변화에 따른 대략적인 변화정도, 조건, 변수등) 그리고 관련논문도 알고싶습니다. 답변부탁드립니다.
  • TiO2
  • 유전상수
  • 측정
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답변 1
  • 답변

    손삼익님의 답변

    2006-02-11
    • 0
    >TiO2에 대한 연구를 하고있는 학생입니다. >TiO2 유전상수를 측정하고자하는데요... >구체적인 측정방법과 예상 측정값을 알고싶습니다. >(예를들어 측정시편의 두께나 크기, 온도변화에 따른 대략적인 변화정도, 조건, 변수등) >그리고 관련논문도 알고싶습니다. >답변부탁드립니다. > 한국세라믹학회지 2000년도 37 권 11 호 절연막의 후 열처리가 Metal/Ferroelectric/Insulator/Semiconductor 구조의 전기적 특성에 미치는 영향 TiO2 박막의 유전상수는 증착 직후 6.9와 15였으며, 900℃에서 열처리를 행한 후 약 8.8로 감소. 유전율 측정은 임피던스 analyser나 CV 측정으로 얻습니다. TiO2 base GI 관련 논문 http://www.research.ibm.com/journal/rd/433/campbell.html Kosen expert review에도 High K review가 있습니다.
    답변수정
    >TiO2에 대한 연구를 하고있는 학생입니다. >TiO2 유전상수를 측정하고자하는데요... >구체적인 측정방법과 예상 측정값을 알고싶습니다. >(예를들어 측정시편의 두께나 크기, 온도변화에 따른 대략적인 변화정도, 조건, 변수등) >그리고 관련논문도 알고싶습니다. >답변부탁드립니다. > 한국세라믹학회지 2000년도 37 권 11 호 절연막의 후 열처리가 Metal/Ferroelectric/Insulator/Semiconductor 구조의 전기적 특성에 미치는 영향 TiO2 박막의 유전상수는 증착 직후 6.9와 15였으며, 900℃에서 열처리를 행한 후 약 8.8로 감소. 유전율 측정은 임피던스 analyser나 CV 측정으로 얻습니다. TiO2 base GI 관련 논문 http://www.research.ibm.com/journal/rd/433/campbell.html Kosen expert review에도 High K review가 있습니다.
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