2006-03-01
org.kosen.entty.User@54fd30ab
이현준(criselee)
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GaAs 기판중에서 많은 분들이 (100)면을 많이 사용하시는데,
(311) 면도 사용한다고 알고 있습니다. (311)A, (311)B 가 어떻게 다른가요? 설명과 함께 관련 문헌이나 참고 web-site 있으면 부탁합니다.
GaAs 기판에 관한 부과적인 설명도 환영합니다. 다른 orientation에 관한 기판 설명.
- GaAs
- substrate
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
양해연님의 답변
2006-03-11- 0
>GaAs 기판중에서 많은 분들이 (100)면을 많이 사용하시는데, >(311) 면도 사용한다고 알고 있습니다. (311)A, (311)B 가 어떻게 다른가요? 설명과 함께 관련 문헌이나 참고 web-site 있으면 부탁합니다. > >GaAs 기판에 관한 부과적인 설명도 환영합니다. 다른 orientation에 관한 기판 설명. (311)A 는 III족원자가 표면최상층을 덮고 있을때를 말하고 (311)B 는 5족원자 (As for GaAs)가 표면원자일 때를 가르킴니다. 이 두가지의 경우는 Zincblende(GaAs, InP 등)의 반도체 결정을 (311)면이 보이도록 쪼갰을때 (not actual reconstuction but imaginary surface after cleavage) 나오는 표면으로 쪼개진 한면이 A면 이면 다른한면은 B면이 되게 됩니다. 이것은 GaAs(111)A-B 면에서도 마찬가지입니다. 따라서 (311) 기판의 한 표면이 A면이면 반대쪽은 B면이 되게됩니다. 참고문헌 참조