2006-11-11
org.kosen.entty.User@92b55a4
김형섭(gtool77)
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강유전체 PZT로 메모리를 만들때 산소공공을 보상하려고 산화물전극을 쓴다고 알고 있습니다.
일반적으로 IrO2를 쓰는것으로 알고 있는데 ITO를 쓰면 안되는건가요?
ITO를 쓰면 어떤 문제가 발생을 하는건가요?
고수님들 답변 부탁드립니다...^^
- ITO
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
홍종인님의 답변
2006-11-17- 0
질문하신 내용과 관련된 논문을 우선 첨부하며, 아시는 바와 같이 fatigue 현상과 retention 현상을 막기 위해 산화물 전극을 사용합니다. 산화물 전극을 다루실 때 주의하셔야할 사항으로는 PZT를 구성하는 Pb가 다른 물질들과 반응성이 크고, 확산이 잘 되기 때문에 전기적 특성이 우수한 소자 제작하고자 할 때, 가장 크게 신경을 써셔야할 부분입니다. 특히 PZT의 pervoskite 상 형성을 쉽게 하기 위해 PZT 박막 제조시에 Pb양을 많게 하여 열처리를 하는 경우가 많습니다. 그리고, 산화물 전극에서 생각해야할 것은 전기전도도입니다. 일반적인 Pt 같은 금속전극에 비해서 높은 비저항을 가지며, 산화물 전극을 구성하는 원소들의 조성비를 잘 맞추지 못하면 비저항이 크게 올라갑니다. >강유전체 PZT로 메모리를 만들때 산소공공을 보상하려고 산화물전극을 쓴다고 알고 있습니다. >일반적으로 IrO2를 쓰는것으로 알고 있는데 ITO를 쓰면 안되는건가요? >ITO를 쓰면 어떤 문제가 발생을 하는건가요? >고수님들 답변 부탁드립니다...^^ -
답변
김철홍님의 답변
2006-12-24- 0
ITO가 아무리 전도성물질이라 해도 금속전극의 그것에는 못미칩니다. 단순한 예로 PDP의 현재 전극인 은을 ITO로 대체하기 위해서는 은이 2um로 성막되는 것과 동일한 효과를 내기 위해서는 ITO를 100um 성막해야 합니다. 하지만 화학적 특성은 금속보다는 더 좋다고 할 수 있겠죠.