2007-01-09
org.kosen.entty.User@35cbfc99
양재훈(yjhy)
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Diaphragm gauge에 관한 질문입니다...
Diaphragm gauge는 센서내의 격막의 휘어지는 정도에 따라 변하는 용량 변화를 감지해
서 전기적인 신호로 출력하는 것으로 알고 있습니다..
여기서 좀 더 자세히 알고 싶습니다...
격막이 휘어지는 정도에 따라 용량 변화를 어떻게 감지하는 것인지...
또 그 변화량을 어떻게 전기적인 신호로 변환하는 것인지 등 Diaphragm gauge의 전반
적인 동작 원리에 대해 궁금합니다...
Diaphragm gauge에 대한 자료등이 있으면 더욱 좋겠습니다..
그럼 부탁드립니다..
- Diaphragm gauge
- vacuum
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
이영국님의 답변
2007-01-10- 0
Diaphragm gauge는 센서내부에 진공상태의 격막통이 있으며 이 격막통은 외부의 압력에 따라 부피가 줄어들기도 하고(즉, 쭈그러들고) 늘어나기도 (즉, 부풀어 오르기도) 합니다. 즉, 격막통 껍데기는 외부 압력에 매우 민감한 얇은 탄성체입니다. 그런데 격막통에 작은 바늘을 달고 지시계와 연결하면 외부 압력에 따라 격막통 표면에 변위가 생기면 여기에 붙은 바늘도 같이 움직이게 되고, 이바늘의 움직임을 압력으로 읽는 것이 Diaphragm gauge입니다. 압력을 전기신호로 검출하는 Diaphragm gauge는 특별히 capacitance manometer gauge라고 부르며 격막의 움직임에 따라 센서의 정전용량 변화량을 읽어내어 압력을 측정합니다. 대표적인 예가 MKS사의 Baratrom gauge입니다. >Diaphragm gauge에 관한 질문입니다... > >Diaphragm gauge는 센서내의 격막의 휘어지는 정도에 따라 변하는 용량 변화를 감지해 > >서 전기적인 신호로 출력하는 것으로 알고 있습니다.. > >여기서 좀 더 자세히 알고 싶습니다... > >격막이 휘어지는 정도에 따라 용량 변화를 어떻게 감지하는 것인지... > >또 그 변화량을 어떻게 전기적인 신호로 변환하는 것인지 등 Diaphragm gauge의 전반 > >적인 동작 원리에 대해 궁금합니다... > >Diaphragm gauge에 대한 자료등이 있으면 더욱 좋겠습니다.. > >그럼 부탁드립니다..