2007-01-12
org.kosen.entty.User@576d3572
김양수(dlinka)
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유리기판상에 고분자막을 인쇄할때, 또는 세정시 효율향상을 위해
표면개질 전처리를 합니다. 보통 EUV (Eximer-UV)로 표면개질을
하는데, 이럴경우 표면개질 효과 지속시간이 어느정도 되는지요?
물론 주변의 오염물질에 따라 편차가 다양할 것으로 생각되지만, 특히
어느 오염물질이 표면개질 효과를 급감시킬수 있는지도 알고 싶읍니다.
- EUV
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답변 1
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답변
이현석님의 답변
2009-06-04- 0
>유리기판상에 고분자막을 인쇄할때, 또는 세정시 효율향상을 위해 >표면개질 전처리를 합니다. 보통 EUV (Eximer-UV)로 표면개질을>하는데, 이럴경우 표면개질 효과 지속시간이 어느정도 되는지요?>물론 주변의 오염물질에 따라 편차가 다양할 것으로 생각되지만, 특히>어느 오염물질이 표면개질 효과를 급감시킬수 있는지도 알고 싶읍니다. >엑시머는 172nm이 파장대를 이용하여 표면개질을 합니다. 유리재질은 Si-O의 결합을 가지고 있고, 그외의 불순물(N,C 등등)과 화합결합을 하고 있습니다. 결합력을 에너지로 환산하면 100kcal정도가 됩니다. 엑시머의 에너지는 그것보다 더 위의 에너지(172nm를 kcal로 환산)를 가지고 있으므로 그 에너지로 결합력을 끊습니다. 하지만 엑시머의 파장이 짧기 때문에 조사거리에 따라 intensity가 달라집니다. 세정의 유무를 판단하기 위해서는 접촉각 테스트를 합니다(유리기판의 각도 5도내외). 그 후에 시간에 따라 접촉각을 측정합니다. 공기중에 놓으시면 5분 이내에 재오염이 발생할 수 있습니다. 그러므로 질소나 아르곤 같은 분위기에서 두시면 재오염의 속도를 줄일 수 있을 것입니다. 표면개질 효과를 급감시키는 것은 제 생각으로는 탄소가 가장 심각하다고 생각합니다. 결합에너지는 작으나 재결합 또한 쉽게 할 수 있기 때문입니다.