2007-04-11
org.kosen.entty.User@71ef518
정종국(zzang036)
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안녕하십니까?
AC스퍼터링을 이용한 TFT증착 실험에 이용되는 Mo증착시 발생되는 응력에 대한 관련 논문또는 원인에 대해서 알고 싶습니다.
AC전원의 경우 Cathode에 항상(－)의 전위가 걸려 있는 DC sputter와는 달라,Inverter에 의해 2개의 대가 되는 Cathode가 교대로 방전한다.
인접하는 Cathode가 Anode가 되기 (위해)때문에, Charge가 모이기 어려운 구조이기 (위해)때문에 Target간에는 GS를 설치해 없었지만, 고융점 금속(Mo)에 대한 응력의 의한 막 peeling 현상이 계속해서 발생되고 있다.
이러한 현상에 근본적인 원인대한 규명한 논문을 찾고 있습니다.
감사합니다.
- Mo
- stress
- AC sputtering
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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