2007-04-11
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임유승(rim2000)
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반응성 스퍼터링을 공부하고 있는 학생입니다.
Pressure Hysteresis 곡선이 반응성 스퍼터링에서 나오는데
Ar 고정 후 산소의 변화에 따라 히스테리시스 형태의 곡선이 나옵니다.(세로 전압, 가로 산소량)
여기서 산소량에따라 메탈모드 옥사이드모드라고 하는데 이 변화 추이에 대한
원리적으로 알고 싶구요. 이 곡선 모드에서 가운데 부분(히스테리시스 곡선)에서
전압폭차가 큰곳을 선별하는 이유를 알고 싶습니다.
그리고 메탈모드 옥사이드 모드 말고 가운데 부분 히스테리시스 형태에서 큰폭차가
나는곳을 머라고도 부르는지 궁금합니다.
- poisoning
- hysteresis
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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