2007-08-16
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이원희(love212331)
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안녕하세요~ 석사 이제 2학기 되는 학생입니다.
다름이 아니라 ALD로 ZnO 박막을 가지고 실험을 하려고 합니다.
장비가 쌔거라서 제가 공정 조건을 잡는데
증착율을 구하는중 (온도에 따라) 어느일정한 온도 부터는
증착율이 줄어들더니 나중에는 증착이 아예 안됐습니다.
그 결과를 제가 판단한 결과는 어느 온도부터는 프리커서들이
분해가 되어서 다 날라가서 증착이 안됐다라고 결론을 일단은
내렸습니다. 제가 소스로는 DEZn 과 H2O를 쓰고 있습니다.
어떤 논문을 보니 H20가 분해되어서 증착율이 감소한다고 나왔던데
만약 그렇다면 H2O를 쓰는 모든 ALD는 증착율이 다 감소해야 하는거
아니겠습니까~ 그렇지만 여지껏 발표된 논문들은
ALD window가 지나고 온도가 상승할수록 증착이 더 잘되는거로 많이
나왔습니다. 그래서 제가 생각하기에 DEZn 이 분해 된거 아닌가
그런 생각을 하고 있습니다.
어떤것이 맞는것인지 알려 주시면 감사하겠습니다.
또 DEZn과 H2O의 분해 온도를 아시는 분은 알려주세요~!!
제가 추천 꽉 꽉 눌러 드리겠습니다. ㅎㅎ
수고하시고 모두 건강하세요~^^
- ALD
- ZnO
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
성기환님의 답변
2007-08-16- 0
>안녕하세요~ 석사 이제 2학기 되는 학생입니다. >다름이 아니라 ALD로 ZnO 박막을 가지고 실험을 하려고 합니다. >장비가 쌔거라서 제가 공정 조건을 잡는데 >증착율을 구하는중 (온도에 따라) 어느일정한 온도 부터는 >증착율이 줄어들더니 나중에는 증착이 아예 안됐습니다. >그 결과를 제가 판단한 결과는 어느 온도부터는 프리커서들이 >분해가 되어서 다 날라가서 증착이 안됐다라고 결론을 일단은 >내렸습니다. 제가 소스로는 DEZn 과 H2O를 쓰고 있습니다. >어떤 논문을 보니 H20가 분해되어서 증착율이 감소한다고 나왔던데 >만약 그렇다면 H2O를 쓰는 모든 ALD는 증착율이 다 감소해야 하는거 >아니겠습니까~ 그렇지만 여지껏 발표된 논문들은 >ALD window가 지나고 온도가 상승할수록 증착이 더 잘되는거로 많이 >나왔습니다. 그래서 제가 생각하기에 DEZn 이 분해 된거 아닌가 >그런 생각을 하고 있습니다. > >어떤것이 맞는것인지 알려 주시면 감사하겠습니다. >또 DEZn과 H2O의 분해 온도를 아시는 분은 알려주세요~!! >제가 추천 꽉 꽉 눌러 드리겠습니다. ㅎㅎ >수고하시고 모두 건강하세요~^^ > ALD 공정으로 박막을 증착하다보면 self-limitted growth가 일어납니다. 이는 익히 알고 계실테구요 그런데 ALD 공정온도 이상에는 CVD 공정 효과로 막이 증착이 되는 것이 보통이죠 어느 정도 온도에서 증착을 하시는지는 정확히 모르겠지만 아마도 높은 온도에서 반응을 시키시다면 Et2Zn가 분해 될겁니다. H2O가 분해가 되는 것은 쉽지 않으니까요 다시말해서 온도가 지나치게 높으면 Et2Zn가 표면서 chemical reaction이 일어나지 못하게 됩니다 그리고 Et2Zn는 분해가 되면 Zn metal 됩니다. 그렇다면 CVD process 가 일어난다고 해도 증착 자체의 조건이 달라지기 때문에 아마도 증착이 일어나지 않을 겁니다. Et2Zn은 상당히 잘 날아가고 분해온도도 상당히 낮은 물질로 알려 있습니다. 논문이 상당히 많이 알려져 있는 것으로 아는데 참고 하시면 분해온도를 알 수 있을겁니다. -
답변
안길홍님의 답변
2007-08-30- 0
ZnO에 관한 사항에 국한된 것은 아니지만 KOSEN What is?No.5088에서 ALD증착에 관한 일반사항이 조금이라도 참조되기를 바랍니다.