2007-08-30
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박성률(psrgroove)
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CVD로 만들어진 FIILM을 ALD를 이용해서 만들수 있습니까?
- CVD
- ALD
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
안길홍님의 답변
2007-08-30- 0
KOSEN What is?의 No.5088 “ALD 증착“에서 관련자료를 참고하시기 바랍니다. -
답변
이영국님의 답변
2007-09-03- 0
>CVD로 만들어진 FIILM을 ALD를 이용해서 만들수 있습니까? > 대부분의 박막들은 CVD로 제조한 것을 ALD로도 만들 수 있지만 어떤 것들은 ALD로 박막을 제조하기가 어렵습니다. 특히 산화물은 대부분 CVD/ALD가 모두 가능하지만 금속의 경우에는 ALD가 힘든 것이 더러 있습니다. ALD는 기본적으로 두 개 이상의 반응단계가 필요한데 예를 들어 MgO라면 Mg층과 O층,,, Al2O3라면 Al층과 O층,,, 산소 공급원은 물이나 오존 등입니다. 그런데 금속의 경우 (예를 들면 Cu) 금속 층을 생성한 후 물을 넣으면 금속 산화물이 되므로 플라즈마 등으로 처리해야 금속을 얻을 수 있습니다. 따라서 일부의 금속은 ALD 조건 찾기가 어렵습니다.