2007-09-11
org.kosen.entty.User@300a33b1
김양수(dlinka)
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진공챔버의 Sealing용도로 사용하는 O-ring을 대체할수 있는 메카니즘이 있는지요?
진공챔버 Door부에 설치되어있는 O-ring의 마모로 주기적인 교체와 미세소자의 오염문제가
있읍니다. 이를 개선할수 있는 좋은 방안이 있을까요? O-ring의 재질은 많이 바꾸어 보았지만,
경제성 부분을 무시할수 없기 때문에 이를 고려해야 하겠지요.
- o-ring
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답변 4
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답변
문민석님의 답변
2007-09-11- 0
>진공챔버의 Sealing용도로 사용하는 O-ring을 대체할수 있는 메카니즘이 있는지요? >진공챔버 Door부에 설치되어있는 O-ring의 마모로 주기적인 교체와 미세소자의 오염문제가 >있읍니다. 이를 개선할수 있는 좋은 방안이 있을까요? O-ring의 재질은 많이 바꾸어 보았지만, >경제성 부분을 무시할수 없기 때문에 이를 고려해야 하겠지요. 현재 세계적으로도 O-ring을 대신할 만한 물품이 없습니다. 금속소재끼리는 아무리 가공을 잘하여도 사용중에 변형이나 미세 홈등이 발생되어 완충작용을 해주는 부분이 없습니다. 그러니 통상적으로 쳄버내의 진공도를 올리기 위해 내부의 공기를 제거하게 되면 쳄버내부는 수축하는 현상을 보이게되죠. 따라서 이러한 수축의 현상을 금속끼리 맞닿아 있으면 장비에 문제가 생겨서 O-ring을 설치하여 현재까지 사용하고 있는 상황입니다. 사실 교체작업 또한 쉽지가 않습니다. 고무금속같은 것으로 쳄버를 만든다면 좋을텐데 비용이 많이들겠죠? 시원한 답글이 안되어 죄송합니다. 좋은 하루되세요. -
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김도형님의 답변
2007-09-11- 0
단순히 교체 주기가 문제라면 메탈 O-ring을 사용하시는 것은 어떠신지요. 재질을 많이 바꾸어 보셨다니 고려는 하셨을 것 같기는 하지만 혹시 몰라 말씀드려 봅니다. 물론 이것도 챔버를 자주 open하는 경우는 경제성 문제도 있을테니 궁극적인 해결방안은 될 수 없겠지만, O-ring의 마모로 인하여 교체를 하여야 한다면 고려 대상이 될 수 있다고 봅니다. >진공챔버의 Sealing용도로 사용하는 O-ring을 대체할수 있는 메카니즘이 있는지요? >진공챔버 Door부에 설치되어있는 O-ring의 마모로 주기적인 교체와 미세소자의 오염문제가 >있읍니다. 이를 개선할수 있는 좋은 방안이 있을까요? O-ring의 재질은 많이 바꾸어 보았지만, >경제성 부분을 무시할수 없기 때문에 이를 고려해야 하겠지요. -
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고상운님의 답변
2007-09-12- 0
>진공챔버의 Sealing용도로 사용하는 O-ring을 대체할수 있는 메카니즘이 있는지요? >진공챔버 Door부에 설치되어있는 O-ring의 마모로 주기적인 교체와 미세소자의 오염문제가 >있읍니다. 이를 개선할수 있는 좋은 방안이 있을까요? O-ring의 재질은 많이 바꾸어 보았지만, >경제성 부분을 무시할수 없기 때문에 이를 고려해야 하겠지요. 이 분야의 전문가는 아니지만 자동차 엔진 Seal용으로 사용되는 재질을 추천할까 합니다. 재질은 그라파이트이며 그라피이트 시트 두장사이에 금속판을 압착하여 사용한다고 합니다. 업체를 소개해 드리면, IMAT 박 홍기 사장 전화번호: 02-794-2778 입니다. 검토해 보세요. -
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김진철님의 답변
2007-09-12- 0
>진공챔버의 Sealing용도로 사용하는 O-ring을 대체할수 있는 메카니즘이 있는지요? >진공챔버 Door부에 설치되어있는 O-ring의 마모로 주기적인 교체와 미세소자의 오염문제가 >있읍니다. 이를 개선할수 있는 좋은 방안이 있을까요? O-ring의 재질은 많이 바꾸어 보았지만, >경제성 부분을 무시할수 없기 때문에 이를 고려해야 하겠지요. 저도 Basic진공도를 10e-6 torr 를 이용하지만, 항시 개폐가 자유로울려면 바이톤 오링만한게 없던데여... 무산소 동 가스켓은 이용할때마다 교체해야하는 소모성 이고보면 어쩔수 없지요. 대형이고 신축성을 고려하는 부분인 Door부분은 실리콘 오링을 사용하고 있습니다. 닫는 기구 동작을 오링이 마모 되지 않게 설계하는 방법으로 하고 있습니다. 이외 방법이 있으면 공유했음 좋겠네요~~