2007-10-02
org.kosen.entty.User@69f5e27
이재활(jeahwal)
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Radical Assisted Sputtering와 Reactive Sputtering 의 차이점은 어떤것이 있는지요?
산화물을 이용한 다층막을 증착할 때
어떤방법이 더 효율적인지요?(증착속도 및 재현성)
근본적인 차이가 있나요?
- Radical Assisted Sputtering
- Reactive Sputtering
- pvd
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2007-10-03- 0
재료의 선정에 조금씩 차이가 있겠으나 일반적으로 Radical assisted 방법이 Reactive방법보다 sensitivity 에서 160배 이상,면적대비 20배 이상 효율이 높다는 SnO2 film에 관한 자료가 있어서 file로 올립니다.