2007-10-10
org.kosen.entty.User@1efc56d2
이원희(love212331)
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안녕하세요~ 매번 좋은 답변 감사드립니다.
바로 바로 추천 눌러야 하는데 늦어서 죄송합니다.
XRD 분석을 하려 하는데요
quartz기판위에 ZnO박막을 20nm 올렸습니다.
기판을 quartz를 사용하였을때 XRD 측정 할수있나요?
quartz도 결정이기에 볼수 있지 않나 그런 생각을 하는데....
또 quartz 기판때문에 ZnO박막의 피크가 달라질 수 있는지 알고싶습니다.
마지막으로 XRD분석을 하기위한 최소 박막 두께가 있느지 알고싶습니다.
오늘 하루도 좋은 하루되시길...
- XRD
- quartz
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답변 1
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답변
이영국님의 답변
2007-10-12- 0
>XRD 분석을 하려 하는데요 >quartz기판위에 ZnO박막을 20nm 올렸습니다. > >기판을 quartz를 사용하였을때 XRD 측정 할수있나요? >quartz도 결정이기에 볼수 있지 않나 그런 생각을 하는데.... >또 quartz 기판때문에 ZnO박막의 피크가 달라질 수 있는지 알고싶습니다. > >마지막으로 XRD분석을 하기위한 최소 박막 두께가 있느지 알고싶습니다. > >오늘 하루도 좋은 하루되시길... 1) 아래의 질문(5539)글에도 답변을 올렸는데 quartz기판이라고 우리가 흔히 말하는 기판에는 진짜 단결정 quartz기판도 있고 fused silica로 된 유리기판(비정질기판)이 있습니다. 일단 후자의 경우는 100% 회절이 되지 않습니다. 전자의 경우 가공된 면이 회절을 일으키는 면(예를들면 (0001) 면)은 XRD peak의 관찰이 가능하지만 가공된 면이 회절을 일으키지 않는 면이라면 회절 peak이 나타나지 않습니다. 그리고 기판의 영향으로 ZnO 박막의 peak가 바뀌지는 않습니다. 그러나 성장할 때는 당연히 영향을 받겠지요. XRD 회절을 보기 위한 최소 박막의 두께는 결정화도에 따라 차이가 있지만 10nm 이상이면 가능할 것 같네요.