2007-11-02
org.kosen.entty.User@27ae2dd4
김도완(kdw1288)
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PET필름에 Al2O3 혹은 SiOx를 투명하게 증착하려고 합니다.
여기 사용되는 장비에 대한 내용이나, 유명한 장비업체에 대해 알려주세요.
증착장비에 대한 원리나 성능등에 대한 자료도 있으면 좋을 것 같습니다.
PVD장비중에 e-beam이니 boat형이니 뭐 이런 용어들이 나오는데... 초보자라 잘 모르겠습니다.
고수님들의 도움 부탁드립니다.
- PVD
- CVD
- e-beam
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 6
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답변
권혁순님의 답변
2007-11-02- 0
>PET필름에 Al2O3 혹은 SiOx를 투명하게 증착하려고 합니다. >여기 사용되는 장비에 대한 내용이나, 유명한 장비업체에 대해 알려주세요. > >증착장비에 대한 원리나 성능등에 대한 자료도 있으면 좋을 것 같습니다. > >PVD장비중에 e-beam이니 boat형이니 뭐 이런 용어들이 나오는데... 초보자라 잘 모르겠습니다. > >고수님들의 도움 부탁드립니다. 유기물질에 무기물질(산화물) 올리는게 대세인가요???ㅎㅎ 일단 PVD는 Physical Vapor Deposition약자로 말 그래도 물리적인 힘을 이용한겁니다. sputtering, Evaporator ( <--요기에도 방식에 따라 thermal이냐, e-beam으로 나눠집니다) 어쨌든 sputtering은 플라즈마 내 gas ion을 target(님의 경우에는 Al2O3 혹은 oxide 계)을 때려서 원자를 떼어내는 방식이고 , evaporator는 열을 가하여 물 끊이듯이 증기를 발생시켜 증착하는 방식입니다. 이 때 e-beam은 가속된 전자가 증착하고자 하는 물질로 뛰어들어가서 멈출 때 , 즉 운동에너지가 열에너지로 바뀌는 것을 이용하는 거구요. 더불어 CVD는 chemical vapor deposition이라고 하구요...여기에는 방식에 따라 PECVD이나 LPCVD이니 여러가지 방식으로 나뉩니다. 일단 PVD,CVD,e-beam evaporator에 관한 자료이니 참고하세요... -
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김도형님의 답변
2007-11-02- 0
대표적인 국산 장비업체를 소개드립니다. 주성엔지니어링 www.jseng.com 아이피에스 ips-tech.com 선익시스템 www.sunic.co.kr >PET필름에 Al2O3 혹은 SiOx를 투명하게 증착하려고 합니다. >여기 사용되는 장비에 대한 내용이나, 유명한 장비업체에 대해 알려주세요. > >증착장비에 대한 원리나 성능등에 대한 자료도 있으면 좋을 것 같습니다. > >PVD장비중에 e-beam이니 boat형이니 뭐 이런 용어들이 나오는데... 초보자라 잘 모르겠습니다. > >고수님들의 도움 부탁드립니다. -
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안길홍님의 답변
2007-11-02- 0
Plasma-Enhanced CVD기법을 사용하여 대기압,상온에서 SiH4에 의한 PET위에 투명SiO2를 coating하는 기법이 있습니다만, 국내의 적절한 업체는 찾기가 어렵네요. 혹시 아시는 분이 있으시면 답변을 하여주시기 바랍니다. -
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안길홍님의 답변
2007-11-03- 0
첨부file을 보시면 PET위에 SiOx를 PECVD 에 의하여 증착하는 자료이므로 참고하시기 바랍니다. -
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장재덕님의 답변
2007-11-03- 0
>PET필름에 Al2O3 혹은 SiOx를 투명하게 증착하려고 합니다. >여기 사용되는 장비에 대한 내용이나, 유명한 장비업체에 대해 알려주세요. > >증착장비에 대한 원리나 성능등에 대한 자료도 있으면 좋을 것 같습니다. > >PVD장비중에 e-beam이니 boat형이니 뭐 이런 용어들이 나오는데... 초보자라 잘 모르겠습니다. > >고수님들의 도움 부탁드립니다. 질문에 관하여 답 하고자 하오니 상세한 것은 이멜을 주시기 바랍니다. 그리고 국내에서도 필름 증착 장비 업체는 많이 있습니다. 단지 필름의 광폭인 경우에는 드라이빙의 안정성이 문제라고 봅니다. 연구용으로는 문제가 없으나 양산에서는 문제가 될성 싶고요. 실제 장비로 코팅을 하는 업체도 많이 있지요. 에바와 스퍼터는 둘다 진공 상태에서 작엄을 하게 됩니다. Evaporation (증착) ; 피도포 메탈을 끓이는 방식이고 , 부착을 위하여 전자총을 쓴다면 E beam 이며 Sputtering은 피도포 메탈을 강한 에너지로 분자를 부수어 자장으로 전자는 가두고 양자는 마그네트 필드로 가속하여 피도포체에 부착 시키는 완전한 물리적인 코팅 방식 입니다 (PVD ; physical Vapor deposition) 두 방식 모두 부착력을 높이기 위하여 사전에 표면을 거칠게하는 별도의 전처리 공정을 두기도 합니다. 두 방식 무두 도움이 되시기를 바랍니다. 이멜 주세요.. 당사는 PVD 방식의 장비로 필름과 패널을 스퍼터링으로 코팅 할 수 있습니다. 감사합니다. -
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이원희님의 답변
2007-12-26- 0
>PET필름에 Al2O3 혹은 SiOx를 투명하게 증착하려고 합니다. >여기 사용되는 장비에 대한 내용이나, 유명한 장비업체에 대해 알려주세요. > >증착장비에 대한 원리나 성능등에 대한 자료도 있으면 좋을 것 같습니다. > >PVD장비중에 e-beam이니 boat형이니 뭐 이런 용어들이 나오는데... 초보자라 잘 모르겠습니다. > >고수님들의 도움 부탁드립니다. PET 필름을 쓰시려면 저온 공정이 필요 하다 생각합니다. 막질이 좋은 필름을 얻기 위해서는 ALD가 저온 공정에 적당하다 생각이 드는데요~ PECVD등 플라즈마를 쓰면 PET가 데미지를 입는지 않입는지 모르겠네요. 약간의 데미지가 있을 것 같네요. 그래서 ALD도 저온에서 Al2O3가 증착 가능하다고 알고 있습니다. 장비업체는 선익이나 주성 같은 경우 가격이 만만치 않고요 작은 업체들 검색하시면 나올거에요~