2008-01-24
org.kosen.entty.User@45cf0a7c
임유승(rim2000)
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스퍼터 타겟을 사용하고 있는데 순도이외에 조밀도가 있습니다.
이 조밀도가 스퍼터시 어떠한 영향을 주는지 알고 싶습니다
제작된 박막에도 영향을 크게 미치나요?
- 스퍼터링
- 타겟
- 조밀도
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
김정렬님의 답변
2008-01-26- 0
안녕하세요. 타겟을 만들어 보면서 알게된 것을 나누고자 합니다. 1. 금속 타겟은 금속 모재에서 만들기 때문에 조밀도 즉, 밀도의 변화가 거의 일정합니다. 그래서, 모재에서 타겟을 만들고 두께를 조절하고, 롤링하여 조직을 더조밀하게 만듭니다. 즉, 아래위로 눌리고, 열처리로 풀어주고, 또 롤링하여 눌리고, 열처리하여 응력을 풀어주어 최종적으로 타겟을 만들어 냅니다. 이것은 회사 마다의 노하우입니다. 제가 국내 백금 타겟을 만드는 분과도 여러번 조절하여 만들었고, 삼성 종합기술원에 납품하였고, JM 에서 직수입한 것과 다름 없다고 하는 결과를 얻을 때까지 약 2 년이 걸렸습니다. 또한 도가니도 똑같습니다. 일반 귀금속점에서 만드는 도가니는 고온에서 오래가지 못합니다. 이것이 바로 이런 공정이 들어가기 때문입니다. 잘 참조하셨으면 합니다. 2. 세라믹 타겟은 정말로 제조 공정에서 잘 다루어야 하는 것임을 두말할 것도 없습니다. 일단 파우다가 아주 고아야 합니다. 320 메쉬, 500 메쉬, 600 메쉬 정말고 가능한 만큼 작게하면 좋습니다. 그리고, 유압프레스로 타겟 크기로 압축할 때에도 논문에 나와 있는 것 보다 더 하셨으면 합니다. 1 톤 2 톤이 아니라 5 톤, 10 톤으로 말입니다. 그러면 더 조밀하여집니다. 그리고, Hot isostatic Pressing 을 하여 타겟 모든 면에서 압축을 하여 만들어 집니다. 그럼, 조밀하지 않으면 타겟을 스퍼터링할 때엔 크기가 일정하지 않습니다. 즉, 곱게 뜯어질 수도 있고, 큰 덩어리로 뜯어질 수도 있습니다. 막은 별로 입니다. 이런 타겟으로 PLD 를 해도 똑 같습니다. 연구에 참조하시면 좋겠습니다. >스퍼터 타겟을 사용하고 있는데 순도이외에 조밀도가 있습니다. > >이 조밀도가 스퍼터시 어떠한 영향을 주는지 알고 싶습니다 > >제작된 박막에도 영향을 크게 미치나요? -
답변
김상문님의 답변
2008-02-18- 0
조밀하지 않으면 막이 균질하게 만들어지지 않습니다. 표면성이 거칠게 될 수 있으며 타겟 손상도 커집니다. 노즐링도 심해지고 스파터 수율도 저하됩니다.