2008-03-26
org.kosen.entty.User@7d0bf106
이석호(parr101)
- 2
제가 사진 공정을 하고 있는데 PR을 AZ 1512를 사용하고 잇습니다.
공정 변수를 다양하게 해서 조건을 잡고 있습니다.
1512를 이용하여 최소 선폭을 구현했다는 논문이나 변수별로 어떤 영향을
끼치는지를 연구한 논문을 찾고 잇습니다.
검색을 해도 공정 조건 별로 연구한 논문을 찾을 수가 없네요..
아니면 AZ 1512에 대한 어떤 정보라도 좋으니 참고할 수있는 논문을 추천
해 주세요..되도록이면 수치가 나온 정보면 좋겠습니다..
그럼 즐거운 하루되세요...
- PR
- Az 1512
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
박병규님의 답변
2008-03-27- 0
>제가 사진 공정을 하고 있는데 PR을 AZ 1512를 사용하고 잇습니다. > >공정 변수를 다양하게 해서 조건을 잡고 있습니다. > >1512를 이용하여 최소 선폭을 구현했다는 논문이나 변수별로 어떤 영향을 > >끼치는지를 연구한 논문을 찾고 잇습니다. > >검색을 해도 공정 조건 별로 연구한 논문을 찾을 수가 없네요.. > >아니면 AZ 1512에 대한 어떤 정보라도 좋으니 참고할 수있는 논문을 추천 > >해 주세요..되도록이면 수치가 나온 정보면 좋겠습니다.. > > 그럼 즐거운 하루되세요... 얼마나 작은 최소선폭인지는 모르지만 마스크가 잘 설계 제작되었다면 1. aligner spec. 에 좌우될 것입니다. 2. hard contact인 경우의 회절문제까지 고려할 정도라면 검색하면 이론식은 쉽게 찾을 수 있을 것입니다. 3. PR recipe 는 maker catalog 찾아보세요. PR 두께는 PR 상태, 장비에 의존하므로 먼저 사용한 사람에게 물어보고 그대로 직접 코팅해서 측정 확인하는 것이 좋습니다. 4. 많이 사용하는 spin coater conditon (@SNU)입니다. 참고하세요. speed: 4000 rpm/ ramp: 2000/ time: 35 sec 좋은 결과 있기를 ... -
답변
한용희님의 답변
2008-03-27- 0
>제가 사진 공정을 하고 있는데 PR을 AZ 1512를 사용하고 잇습니다. > >공정 변수를 다양하게 해서 조건을 잡고 있습니다. > >1512를 이용하여 최소 선폭을 구현했다는 논문이나 변수별로 어떤 영향을 > >끼치는지를 연구한 논문을 찾고 잇습니다. > >검색을 해도 공정 조건 별로 연구한 논문을 찾을 수가 없네요.. > >아니면 AZ 1512에 대한 어떤 정보라도 좋으니 참고할 수있는 논문을 추천 > >해 주세요..되도록이면 수치가 나온 정보면 좋겠습니다.. > > 그럼 즐거운 하루되세요... 위분이 잘 설명을 해주셨는데 AZ 1512 PR은 일반적으로 UV영역의 i-Iine 파장에 감광이 되도록 제조된 PR입니다. 따라서 파장과 Hard contact 인 경우 얼라인 갭을 알면 구현할 수 있는 최소 선 폭을 알 수 있습니다. (파장*얼라인 갭)1^/2 예를 들어 i-line(파장 405nm) 얼라인 갭 5um라면 구현 가능한 최소 선폭은 약 1um가 되겠지요 그러나 포토마스크의 경우 마스크 업체에서 패턴을 그릴수 있는 최소 선폭이 1um이므로 이 선폭 이하의 구현은 포토마스크를 만들수 없어 어렵다고 봐야할 것입니다. 이것은 일반적인 얼라이너 를 사용할 경우이고 스테퍼를 이용할 경우에는 포토마스크의 패턴을 실제 사이즈보다 5배 또는 10배 정도로 그려 프로 젝션하여 노광하며 얼라인 갭 자체가 거의 없는 상태이므로 일반적으로 i-line 스테퍼를 이용할 경우 약 0.5um이하 수준까지도 가능합니다.