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지식나눔

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고분자 두께 측정 방법

2008-04-15 org.kosen.entty.User@4ebb0eb5 남재우(njworange)
  • 3
-매번 질문에 답변 감사드립니다. -저희 연구실에서 PDMS를 사용하여 실험을 진행하고 있습니다. 일반적으로 실리콘 웨이퍼 위에 물질을 증착하게 되면, 엘립소미터 등으로 두께를 측정하고 있습니다. 그런데 PDMS에 물질을 증착했을 때 두께를 알고 싶은데, 엘립소미터로 PDMS 두께 측정이 가능한가요? -불가능하다면, PDMS 두께 측정이 가능한 장비가 있는지 알고 싶습니다.
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답변 3
  • 답변

    김도형님의 답변

    2008-04-15
    • 0
    PDMS 위에 증착한 박막의 두께를 구하고자 하는 것인지요. 실리콘 위의 박막이 엘립소미터로 측정이 된다면 PDMS 위라고 안될 것은 없다고 생각이 됩니다. 자세한 사항은 www.ellipsotech.com에 문의를 하여보심이 어떨까 싶습니다. 엘립소미터 관련 국내 최고의 전문가 집단입니다. 혹시 엘립소미터로 측정이 되지 않는다고 하여도 두께 측정에 관한 솔루션을 보유하고 있는 것으로 알고 있습니다. >-매번 질문에 답변 감사드립니다. > >-저희 연구실에서 PDMS를 사용하여 실험을 진행하고 있습니다. 일반적으로 실리콘 웨이퍼 위에 물질을 증착하게 되면, 엘립소미터 등으로 두께를 측정하고 있습니다. 그런데 PDMS에 물질을 증착했을 때 두께를 알고 싶은데, 엘립소미터로 PDMS 두께 측정이 가능한가요? > >-불가능하다면, PDMS 두께 측정이 가능한 장비가 있는지 알고 싶습니다.
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    PDMS 위에 증착한 박막의 두께를 구하고자 하는 것인지요. 실리콘 위의 박막이 엘립소미터로 측정이 된다면 PDMS 위라고 안될 것은 없다고 생각이 됩니다. 자세한 사항은 www.ellipsotech.com에 문의를 하여보심이 어떨까 싶습니다. 엘립소미터 관련 국내 최고의 전문가 집단입니다. 혹시 엘립소미터로 측정이 되지 않는다고 하여도 두께 측정에 관한 솔루션을 보유하고 있는 것으로 알고 있습니다. >-매번 질문에 답변 감사드립니다. > >-저희 연구실에서 PDMS를 사용하여 실험을 진행하고 있습니다. 일반적으로 실리콘 웨이퍼 위에 물질을 증착하게 되면, 엘립소미터 등으로 두께를 측정하고 있습니다. 그런데 PDMS에 물질을 증착했을 때 두께를 알고 싶은데, 엘립소미터로 PDMS 두께 측정이 가능한가요? > >-불가능하다면, PDMS 두께 측정이 가능한 장비가 있는지 알고 싶습니다.
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  • 답변

    장용운님의 답변

    2008-04-16
    • 0

    첨부파일

    >-매번 질문에 답변 감사드립니다. > >-저희 연구실에서 PDMS를 사용하여 실험을 진행하고 있습니다. 일반적으로 실리콘 웨이퍼 위에 물질을 증착하게 되면, 엘립소미터 등으로 두께를 측정하고 있습니다. 그런데 PDMS에 물질을 증착했을 때 두께를 알고 싶은데, 엘립소미터로 PDMS 두께 측정이 가능한가요? > >-불가능하다면, PDMS 두께 측정이 가능한 장비가 있는지 알고 싶습니다. 유기발광소자의 나노패터닝 분야에 일을 하시는 것 같군요. Nanotranfer printing이 효율적으로 되기 위해서는 PDMS 위에 증착된 메탈층이 완전히 isolation 되어야 하는데 이것을 효과적으로 하기 위한 re-entrant PDMS stamp를 사용합니다. PDMS stamp에 증착된 금속(Au)이 접착력이 강한 기판위로 전사되면서 패터닝된다. 패터닝이 된 박막측정이 기존의 ex-situ 나노 측정기술(TEM, SEM, 혹은 AFM) 등으로 관찰합니다. 상기 측정기술로 관찰하기 어렵울 때는 X-ray를 이용해서는 막의 headgroup-tailgroup에서 달라지는 전자밀도 계면의 거칠기, 두께, 막의 전자밀도 등을 구할 수 있으며, 중성자 반사율을 이용해서 막구조를 매우 정밀하게 측정할 수 있습니다. 참고로 소프트리소그래피 관련 논문들 소개를 첨부파일에 첨부합니다.
    답변수정
    >-매번 질문에 답변 감사드립니다. > >-저희 연구실에서 PDMS를 사용하여 실험을 진행하고 있습니다. 일반적으로 실리콘 웨이퍼 위에 물질을 증착하게 되면, 엘립소미터 등으로 두께를 측정하고 있습니다. 그런데 PDMS에 물질을 증착했을 때 두께를 알고 싶은데, 엘립소미터로 PDMS 두께 측정이 가능한가요? > >-불가능하다면, PDMS 두께 측정이 가능한 장비가 있는지 알고 싶습니다. 유기발광소자의 나노패터닝 분야에 일을 하시는 것 같군요. Nanotranfer printing이 효율적으로 되기 위해서는 PDMS 위에 증착된 메탈층이 완전히 isolation 되어야 하는데 이것을 효과적으로 하기 위한 re-entrant PDMS stamp를 사용합니다. PDMS stamp에 증착된 금속(Au)이 접착력이 강한 기판위로 전사되면서 패터닝된다. 패터닝이 된 박막측정이 기존의 ex-situ 나노 측정기술(TEM, SEM, 혹은 AFM) 등으로 관찰합니다. 상기 측정기술로 관찰하기 어렵울 때는 X-ray를 이용해서는 막의 headgroup-tailgroup에서 달라지는 전자밀도 계면의 거칠기, 두께, 막의 전자밀도 등을 구할 수 있으며, 중성자 반사율을 이용해서 막구조를 매우 정밀하게 측정할 수 있습니다. 참고로 소프트리소그래피 관련 논문들 소개를 첨부파일에 첨부합니다.
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  • 답변

    정석균님의 답변

    2008-05-06
    • 0
    두께가 어느 정도인지 정확히 알 수가 없으나 엘립소미터는 주로 nano level의 두께를 측정하는데 사용됩니다. Resolution은 우수하지만 측정이 까다롭고 약간 두꺼워지면 정확한 데이터를 얻기 어렵습니다. Reflectometry를 사용하면 측정도 간단하고, 엘립소 보다는 다소 두꺼운 막까지 측정이 가능합니다. PDMS라면 두께가 만만치 않을 수도 있으므로 대략적인 두께를 알아야 정확한 답변을 드릴 수 있습니다. 추가로 정보가 필요하면 nanomate@naver.com으로 연락을 주십시요. 저희 회사에서 Reflectrometry 방식의 박막두께측정기를 생산하고 있으며, Sample 측정도 가능합니다. - http://blog.naver.com/nanomate >-매번 질문에 답변 감사드립니다. > >-저희 연구실에서 PDMS를 사용하여 실험을 진행하고 있습니다. 일반적으로 실리콘 웨이퍼 위에 물질을 증착하게 되면, 엘립소미터 등으로 두께를 측정하고 있습니다. 그런데 PDMS에 물질을 증착했을 때 두께를 알고 싶은데, 엘립소미터로 PDMS 두께 측정이 가능한가요? > >-불가능하다면, PDMS 두께 측정이 가능한 장비가 있는지 알고 싶습니다.
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    두께가 어느 정도인지 정확히 알 수가 없으나 엘립소미터는 주로 nano level의 두께를 측정하는데 사용됩니다. Resolution은 우수하지만 측정이 까다롭고 약간 두꺼워지면 정확한 데이터를 얻기 어렵습니다. Reflectometry를 사용하면 측정도 간단하고, 엘립소 보다는 다소 두꺼운 막까지 측정이 가능합니다. PDMS라면 두께가 만만치 않을 수도 있으므로 대략적인 두께를 알아야 정확한 답변을 드릴 수 있습니다. 추가로 정보가 필요하면 nanomate@naver.com으로 연락을 주십시요. 저희 회사에서 Reflectrometry 방식의 박막두께측정기를 생산하고 있으며, Sample 측정도 가능합니다. - http://blog.naver.com/nanomate >-매번 질문에 답변 감사드립니다. > >-저희 연구실에서 PDMS를 사용하여 실험을 진행하고 있습니다. 일반적으로 실리콘 웨이퍼 위에 물질을 증착하게 되면, 엘립소미터 등으로 두께를 측정하고 있습니다. 그런데 PDMS에 물질을 증착했을 때 두께를 알고 싶은데, 엘립소미터로 PDMS 두께 측정이 가능한가요? > >-불가능하다면, PDMS 두께 측정이 가능한 장비가 있는지 알고 싶습니다.
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