2008-07-02
org.kosen.entty.User@1a3c1022
이동엽(ccaryman)
- 4
안녕하세요..
저는 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 유리기판위에 ITO박막을 증착하여
분석, 연구하는 대학원생입니다.
다름이 아니라
이번에 ITO박막의 정량분석을 하기위하여
ICP 측정을 하려고 하는데요...
ICP 장비가 구비되어 있는 곳이 알고 싶어 이렇게 글을 올립니다.
되도록 operator가 박막을 정량분석하신분이였으면 좋겠습니다.
참고로, 한 operator에게 물어봤는데
유리 기판까지 다 녹여야 된다던데
맞나요? ㅡ_ㅡ;;
- ICP
- ITO
- film
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 4
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답변
이상후님의 답변
2008-07-02- 0
>안녕하세요.. > >저는 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 유리기판위에 ITO박막을 증착하여 > >분석, 연구하는 대학원생입니다. > >다름이 아니라 > >이번에 ITO박막의 정량분석을 하기위하여 > >ICP 측정을 하려고 하는데요... > >ICP 장비가 구비되어 있는 곳이 알고 싶어 이렇게 글을 올립니다. > >되도록 operator가 박막을 정량분석하신분이였으면 좋겠습니다. > >참고로, 한 operator에게 물어봤는데 > >유리 기판까지 다 녹여야 된다던데 > >맞나요? ㅡ_ㅡ;; 다른 곳도 있는 것으로 알고 있지만 제가 알고 있는 곳을 추천해 드리면 경희대 중앙기기센터에서 전문적으로 분석의뢰를 하고 있습니다. (Tel. 02)961-0215) -
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고상운님의 답변
2008-07-03- 0
>안녕하세요.. > >저는 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 유리기판위에 ITO박막을 증착하여 > >분석, 연구하는 대학원생입니다. > >다름이 아니라 > >이번에 ITO박막의 정량분석을 하기위하여 > >ICP 측정을 하려고 하는데요... > >ICP 장비가 구비되어 있는 곳이 알고 싶어 이렇게 글을 올립니다. > >되도록 operator가 박막을 정량분석하신분이였으면 좋겠습니다. > >참고로, 한 operator에게 물어봤는데 > >유리 기판까지 다 녹여야 된다던데 > >맞나요? ㅡ_ㅡ;; 기업체 중 한곳을 추천합니다. 필름위에 ITO를 스퍼터링하는 업체입니다.(자화전자) www.jahwa.co.kr -
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김용찬님의 답변
2008-07-03- 0
>안녕하세요.. > >저는 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 유리기판위에 ITO박막을 증착하여 > >분석, 연구하는 대학원생입니다. > >다름이 아니라 > >이번에 ITO박막의 정량분석을 하기위하여 > >ICP 측정을 하려고 하는데요... > >ICP 장비가 구비되어 있는 곳이 알고 싶어 이렇게 글을 올립니다. > >되도록 operator가 박막을 정량분석하신분이였으면 좋겠습니다. > >참고로, 한 operator에게 물어봤는데 > >유리 기판까지 다 녹여야 된다던데 > >맞나요? ㅡ_ㅡ;; 안녕하세요? 저는 포항산업과학연구원에 근무하고 있는 연구원입니다. ITO 박막을 증착해서 정량분석을 하고 싶다고 하셨는데... 왜 하필 ICP 분석을 하려고 하시는지 모르겠군요 정량적으로 ppm단위까지 정확하긴 하지만, 그건 일반 금속의 경우이고... 시편 준비도 수g 이상 필요하며, 표준시편도 있어야 하고.. 무엇보다도 수um 두께의 박막인데... 기판분리하기도 힘들고, 양도 적고.. 무엇보다도 handling하기도 힘들고... 제가 보기에는 분석장비를 잘못선택하시는것 같네요. 일반적으로 박막은 고배울 FE-SEM (또는 가능하다면 TEM)으로 분석하시는게 옳습니다. 우선 박막의 두께나 형상을 먼저 관찰하시고, 그 기기내에서 area mapping이나 다른 방법으로 정량분석하시는게 맞습니다. 물론 분해능이나 정확도는 좀 떨어지지만요.. 그리고 다른 방법으로는 ESCA, AUGER를 이용해서 박막의 두께방향 depth profile을 해 보는것도 정확한 정량분석을 위해 좋은 방법일것 같습니다. 물론 분석비, 시편준비, 장비의뢰가능한곳... 등 어려운 점이 많겠지만, 분석의 중요도나 시급성을 잘 판단해서 분석 tool을 이용하시기 바랍니다. 도움이 되었는지 모르겠네요... -
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안길홍님의 답변
2010-01-29- 0
>안녕하세요..>>저는 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 유리기판위에 ITO박막을 증착하여>>분석, 연구하는 대학원생입니다.>>다름이 아니라>>이번에 ITO박막의 정량분석을 하기위하여>>ICP 측정을 하려고 하는데요...>>ICP 장비가 구비되어 있는 곳이 알고 싶어 이렇게 글을 올립니다.>>되도록 operator가 박막을 정량분석하신분이였으면 좋겠습니다.>>참고로, 한 operator에게 물어봤는데>>유리 기판까지 다 녹여야 된다던데>>맞나요? ㅡ_ㅡ;; 성균관대학에서 가능함. 그러나 박막의 측정은 ICP로써는 하지않고 TEM으로 하는 것이 올바릅니다.