2008-07-09
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박세정(meg93)
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Pt(111)/TiO2/SiO2/Si 기판 위에 생성된 ZnO를 분리시키고 싶은데요
어떤 에칭액에 담그면 백금이 녹아서 ZnO를 기판과 분리할 수 있을까요?
좋은 조언 부탁드립니다.
- Pt
- ETCNANT
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답변 4
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답변
안길홍님의 답변
2008-07-09- 0
백금을 녹이는데는 왕수의 일종인 8part 38% HCl + 1part HNO3 70%로 녹이는데, 그러면 모두 다 녹아버립니다. 백금만 녹이는 방법은 없겠습니다. -
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유승열님의 답변
2008-07-10- 0
Wet etchant를 쓰시려고 한다면 백금을 강산화제로 산화시킨후 Metal oxide 류 etchant 로 날릴수 있으나 Pt 만 선택적으로 에칭은 불가능합니다. dry 방법을 모색하시는 게 좋을 듯 합니다. -
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권해용님의 답변
2008-07-22- 0
백금은 매우 안정한 원소로 왠만한 산으로는 녹일수 없고 염산과 질산을 섞은 왕수를 써야되는데 게다가 ZnO기판은 산에 쉽게 녹아 버립니 다. 즉 산으로는 선택적으로 에칭을 못합니다. 반면 약간의 가능성이 SiO2는 불산과 완충액을 1:6으로 섞은 BOE용액에 에칭이 되는데 중간의 SiO2를 날려 보시는건 어떠실지.... 그것도 불안 하시면 백금기판을 밀링으로 갈아서 기판을 떼어내는 것도 방법입니다.단 이것은 자칫하다간 시료가 박살날수도 있으니...신중하셔야 하겠습니다. >Pt(111)/TiO2/SiO2/Si 기판 위에 생성된 ZnO를 분리시키고 싶은데요 >어떤 에칭액에 담그면 백금이 녹아서 ZnO를 기판과 분리할 수 있을까요? > >좋은 조언 부탁드립니다. > -
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이상후님의 답변
2010-02-04- 0
>Pt(111)/TiO2/SiO2/Si 기판 위에 생성된 ZnO를 분리시키고 싶은데요 >어떤 에칭액에 담그면 백금이 녹아서 ZnO를 기판과 분리할 수 있을까요?>>좋은 조언 부탁드립니다. Pt 자체의 에칭액은 선정하기 어렵습니다. 물론 극한의 용매를 선정할수는 있으나 기판 자체가 다 망가질 수 있습니다. 다만 SiO2는 H2F2로 TiO2는 크롤이라는 용매로 에칭이 가능합니다. 그래서 Pt만 분리시킬 수는 있습니다.