2008-07-31
org.kosen.entty.User@556b7441
유제원(yjw8302)
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제가 lithography 와 관련된 연구를 진행중에 있는데, Rayleigh`s Equation 에서 NA(numerical aperture) term 에 관한 이해가 부족하여
문의를 드립니다.
NA 가 구체적으로 어떤 의미를 가지는 term 인지와, Rayleigh`s Equation에서 NA 와 Resolution 과 관계를 어떻게 이해해야 하는지 제가 공부해 보기로는 wavelength 가 짧아 지면 NA 가 커진다는 내용도 읽어 봐서 혼란이 좀 오고 있습니다.
혹시 이 이메일을 보신다면 좋은 답변 부탁드립니다.
- numerical aperture
- Rayleigh`s Equation
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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