2008-09-19
org.kosen.entty.User@4499f1f0
이시우(crater)
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InGaN 제조공정중에 상당한 독성 공정이 있다고 하는데,
그것이 무엇인지?
그리고 제조공정 전반에 대한 좋은 자료에는 어떤 것이 있는지?
답변 주시면 감사하겠습니다.
- InGaN
- process
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
이재덕님의 답변
2008-09-20- 0
>InGaN 제조공정중에 상당한 독성 공정이 있다고 하는데, >그것이 무엇인지? >그리고 제조공정 전반에 대한 좋은 자료에는 어떤 것이 있는지? > >답변 주시면 감사하겠습니다. 박막제조시, 암모니아 가스를 사용합니다. 또한 유기금속인 TMGa, TMIn등도 유해한 물질 입니다. 나머지 제조공정은 대등소이한듯합니다.