2008-09-30
org.kosen.entty.User@4b2c3471
이호준(sealove1378)
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국내 실리콘 기판을 건식 식각할수 있는곳을 찾고 있습니다.
기판 사이즈는 2인치와 4인치 입니다.
식각 시 비용이 들어도 괜찮습니다.
아시는 곳이 있다면 업체나 연구소 등 추천해 주세요.
감사합니다.
- Silicon
- etching
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
고상운님의 답변
2008-09-30- 0
>국내 실리콘 기판을 건식 식각할수 있는곳을 찾고 있습니다. > >기판 사이즈는 2인치와 4인치 입니다. > >식각 시 비용이 들어도 괜찮습니다. > >아시는 곳이 있다면 업체나 연구소 등 추천해 주세요. > >감사합니다. 성균관대학교 추천합니다. 관리자: 이 상복 전화번호: 031-299-6713 -
답변
김강일님의 답변
2008-10-01- 0
>국내 실리콘 기판을 건식 식각할수 있는곳을 찾고 있습니다. > >기판 사이즈는 2인치와 4인치 입니다. > >식각 시 비용이 들어도 괜찮습니다. > >아시는 곳이 있다면 업체나 연구소 등 추천해 주세요. > >감사합니다. 국내에서 실리콘 기판을 건식식각 할 수 있는 곳은 많습니다. 질문하신 분이 계시는 지역이 어딘지 모르겠는데 서울이시면 서울대 반도체 공동연구소나 BIO-IT파운드리 서울센터가 있고 수원근처면은 수원 월드컵경기장 뒤에 있는 경기도 나노소자 특화 팹센터가 있습니다. 이외에도 파운드리 서비스를 해주는 곳에는 거의다 RIE장비가 있으니 건식식각이 가능합니다. 다만 척이 거의 4인치짜리라서 2인치는 식각을 하기가 어려울 것 같네요.