2009-01-06
org.kosen.entty.User@78dddbd0
김정섭(liberty951)
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논문을 읽다가 Wet Chemical Method라는 방법이 나왔는데
어떤 방법인지 몰라서 찾아보았지만 못찾았습니다.
Power에 Wet Chemical Method에 의해서
표면에 코팅했다고 하는데 도대체 어떤방법인지 모르겠습니다.
- 습식화학법
- Wet Chemical Method
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답변 2
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답변
안길홍님의 답변
2009-01-07- 2
wet chemical method는 coating할 물질을 용액상태로 만들어 표면에 coating한후 열처리 하는 것을 말합니다. CVD,PVD등과 다른 점은 용액을 가지고 coating한다는 점이 큰 차이점입니다. 예: Si wafer위에 SiO2절연층을 coating할 때 SiO2용액으로 coating하여 열처리 하는 방법이 주로 적용됩니다.
안길홍(ah5506) 2009-01-07버블링 하여 캐리어가스와의 확산에 의한 방법은 CVD의 변형에 가까우므로 CVD에 히당한다고
할 수 있으며, 용액에 의한 wet coating과는 다른 방법으로 분류됩니다. -
답변
이상후님의 답변
2010-01-31- 0
>논문을 읽다가 Wet Chemical Method라는 방법이 나왔는데 >어떤 방법인지 몰라서 찾아보았지만 못찾았습니다. > >Power에 Wet Chemical Method에 의해서 >표면에 코팅했다고 하는데 도대체 어떤방법인지 모르겠습니다. > > 용액상태에서의 화학반응을 통한 표면 코팅 기술을 말합니다. 실제로 응용한 사례에 대한 자료 첨부합니다.
궁금한점이 있는데 저는 PECVD를 개조하여 MO 소스를 넣고 있는데 MO소스를 버블링하여 용액상태에서 캐리어가스에 의해 이동하는것과 비교하면 용액을 가지고 코팅할수있다고 말할수 있을까요?