2009-01-12
org.kosen.entty.User@2ca1674f
김태훈(eosaeolus)
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거창하게 사용할 것은 아니고, 스핀코팅이나 기타 다른 방법으로 증착한 유기반도체의 두께를 측정하고자 합니다.
간단하게 두께를 측정할 수 있는 기기로 알파스텝과 ellipsometry가 있는 것 같은데, 편리함, 정확도, 가격(아주 중요;;)면에서 두 기기 중 어떤 쪽을 고르는 편이 메리트가 있을까요?
견적을 요청하기 전에 적어도 두 기기중 하나는 골라야 할 것 같아서 선배님들의 의견을 구합니다.
- alphastep
- ellipsometry
- thickness
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
이정아님의 답변
2009-01-13- 2
>거창하게 사용할 것은 아니고, 스핀코팅이나 기타 다른 방법으로 증착한 유기반도체의 두께를 측정하고자 합니다. >간단하게 두께를 측정할 수 있는 기기로 알파스텝과 ellipsometry가 있는 것 같은데, 편리함, 정확도, 가격(아주 중요;;)면에서 두 기기 중 어떤 쪽을 고르는 편이 메리트가 있을까요? >견적을 요청하기 전에 적어도 두 기기중 하나는 골라야 할 것 같아서 선배님들의 의견을 구합니다. 두께를 측정할 때 알파스텝과 ellipsometry 외에 nanospec이라는 장치도 있습니다. 편리함으로 따지면 알파스텝이 좋죠. 하지만 스핀코팅으로 하신 경우라면 스캔하는 동안 스크래치가 남게 될 것이구요. 엘립소미트리의 경우 기판을 중심으로 각 layer에 대한 여러가지 정보를 알아야 측정할 수 있는 것으로 알고 있구요..해석이 어려운 단점이 있습니다. 나노스펙의 경우는 일반적으로 많이 알려진 물질을 대상으로 두께를 측정하는 것이라면 기기 내부에 그 값이 저장이 되어 있어서 쉽게 두께를 알 수 있지요. -
답변
이정환님의 답변
2009-01-13- 2
두께측정 장비로 알파스텝 과 엘립소메트리를 비교하자면 각각의 장점과 단점이 있습니다. 엘립소메트리는 비접촉식으로 샘플에 손상이 없고, 정확하지만, 사용자의 숙련도에 따라서 해석이 달라지는 단점이 있습니다. 알파스텝은 접촉식으로 샘플에 손상이 있을 수 있지만, 사용자의 숙련도에 영향을 덜받을 수 있습니다. 그밖에 K모 회사의 Reflect meter도 가격적 이점 및 사용편리성으로 많이 사용되어집니다. 비접촉식으로 샘플에 손상이 없으며, 엘립소메트리에 비해 정밀도는 떨어지지만, 사용이 편리하기 때문입니다. 3가지 다 사용해본 개인적인 생각입니다만, 사용하고자 하는 물질의 종류가 가장 중요하다고 생각됩니다. (벤츠를 타고 오프로드를 달릴필요는 없는것처럼) 스핀코팅방식을 이용하신다면, 수A-수nm의 얇은 박막은 아닐꺼라 추측됩니다. 측정하시고자 하는 박막의 두께가 두껍다면 사용하기 편리한 장비가 제일 좋다고 생각됩니다. 사용하고자 하는 물질의 종류가 자주바뀐다면 알파스텝을 물질의 종류는 일정하다면 리플렉트미터를 사용하는게 편하실듯 싶습니다.