2009-04-07
org.kosen.entty.User@50e8eb00
강현욱(hanulgil)
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안녕하십니까?
6인치 glass에 두께 5 micron 정도의 투명한 박막을 코팅하였습니다.
코팅후 암실에서 spotlight으로 확인하면 20~50 micron 정도의 이물질이
반짝이며 보입니다. 자연광 상태에서는 확인이 불가능하구요.
편광 현미경으로 보면 형태, 크기가 확인됩니다. 성분 분석 결과 먼지로 보여집니다.
코팅후 이러한 먼지(이물)의 수준을 파악하고 싶은데,
좋은 방법 없을까요?
암실에서 촬영하기도 어렵고, 면적 전체를 편광 현미경으로 일일히 보기도 어렵네요.
양산 공정에서 쉽게 적용해서 먼지의 수준을 평가해 볼만한 방법이 없을지 문의드립니다.
감사합니다.
- 이물
- 코팅
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
안길홍님의 답변
2009-04-08- 0
(한가지 예: LG화학에서 각종 coating에 먼지등의 이물질로 인하여 공장 자체를 cleanroom으로 만듬) 거울(표면이 clean한 상태)위에 (glass+투명막)을 올려놓고 먼지등의 이물질을 check하는 방법이 있기는 합니다(굴절,반사율의 차이를 이용). 여건에 맞도록 조정하여 보시기를 바랍니다. -
답변
이상후님의 답변
2010-01-30- 0
>안녕하십니까? >6인치 glass에 두께 5 micron 정도의 투명한 박막을 코팅하였습니다. >코팅후 암실에서 spotlight으로 확인하면 20~50 micron 정도의 이물질이 >반짝이며 보입니다. 자연광 상태에서는 확인이 불가능하구요. >편광 현미경으로 보면 형태, 크기가 확인됩니다. 성분 분석 결과 먼지로 보여집니다. > >코팅후 이러한 먼지(이물)의 수준을 파악하고 싶은데, >좋은 방법 없을까요? >암실에서 촬영하기도 어렵고, 면적 전체를 편광 현미경으로 일일히 보기도 어렵네요. > >양산 공정에서 쉽게 적용해서 먼지의 수준을 평가해 볼만한 방법이 없을지 문의드립니다. > >감사합니다. 형광 X-ray 분석기로 CCD 포인트 분석이 한가지 방법입니다. 참고하세요.