2009-04-14
org.kosen.entty.User@6c89ac28
강주현(loverduck)
- 1
안녕하세요?
다름이 아니오라 제가 실험하고 있는 박막에 대해 각 원자별로 절대 정량 분석을
하고 싶은데 어떤 방법이 있는지 여쭙고자 글을 남깁니다.
제가 실험하는 박막물질은 Mo, Si, C, N이 함유하고 있는데 기존의 RBS 및 AES 분석을 통해 분석을 진행하여 보았으나 표준시료가 없는 관계로 정확한 Data 해석이 어렵다고 합니다.
따라서 제가 궁금한 것은 박막 내의 각 원자별로 절대 정량 분석이 가능한 방법이 무엇인지
있다면 어느 분석 사이트가 있는지 같이 좀 알 수 없을까합니다.
또한 RBS 분석시 필요한 표준시료가 있다고 하는데 표준시료의 정확한 의미가 무엇인지
알고 싶습니다.
박막의 두께는 약 87 nm이고 기판은 합성석영유리입니다.
자세한 답변좀 부탁드립니다
- 박막
- 절대 정량
- 원자
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
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답변
이승미님의 답변
2009-04-14- 0
안녕하세요. 표준시료와 박막의 정량측정은 한국표준과학연구원에 문의하시면 더욱 구체적인 답변을 얻으실 수 있을 듯합니다. www.kriss.re.kr 을 방문해 주세요~ >안녕하세요? >다름이 아니오라 제가 실험하고 있는 박막에 대해 각 원자별로 절대 정량 분석을 >하고 싶은데 어떤 방법이 있는지 여쭙고자 글을 남깁니다. >제가 실험하는 박막물질은 Mo, Si, C, N이 함유하고 있는데 기존의 RBS 및 AES 분석을 통해 분석을 진행하여 보았으나 표준시료가 없는 관계로 정확한 Data 해석이 어렵다고 합니다. >따라서 제가 궁금한 것은 박막 내의 각 원자별로 절대 정량 분석이 가능한 방법이 무엇인지 >있다면 어느 분석 사이트가 있는지 같이 좀 알 수 없을까합니다. >또한 RBS 분석시 필요한 표준시료가 있다고 하는데 표준시료의 정확한 의미가 무엇인지 >알고 싶습니다. >박막의 두께는 약 87 nm이고 기판은 합성석영유리입니다. >자세한 답변좀 부탁드립니다 >