2009-08-17
org.kosen.entty.User@229453f1
신승협(rainy123)
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Tantalum 에칭을 위해 주로 사용하는 Hard Mask 의 종류에는
주로 Au 와 Cr 을 사용한다고 알고 있습니다.
그런데 저희 사정으로인해 Cr 을 다른 재료로 대체하려 합니다.
다른 재료로는 어떤것들이 적합할까요?
Mo 를 사용할까 하는데 문제점이 없을까요?
전문가분들의 답변 부탁드립니다.
- tantalum
- etching
- mask
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
안길홍님의 답변
2009-08-17- 0
재료를 구할 수 있으면,Aluminium Nitride(AlN)을 한번 사용하여 보시기를 추천합니다. -
답변
이상후님의 답변
2010-01-26- 0
>Tantalum 에칭을 위해 주로 사용하는 Hard Mask 의 종류에는 > >주로 Au 와 Cr 을 사용한다고 알고 있습니다. > >그런데 저희 사정으로인해 Cr 을 다른 재료로 대체하려 합니다. > >다른 재료로는 어떤것들이 적합할까요? > >Mo 를 사용할까 하는데 문제점이 없을까요? > >전문가분들의 답변 부탁드립니다. > > sio2 나 amorphous carbon 또는 tantalum oxide가 사용될 수 있습니다. 참고하세요.