2009-08-18
org.kosen.entty.User@714c9f58
전준(tkbabylon)
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제목 그대로 입니다. Si이 아닌 Copper샘플의 건식에칭에 대해 궁금해서 글을 씁니다.
보통은 습식에칭을 통하여 공정을 하는데 재현성 확보가 어렵더군요.
다른 업체나 연구소를 알아본 결과 건식에칭장비를 보유하고 있지만, Copper샘플을 힘들다고들 말씀을 하시더군요.
혹시나 Copper의 건식에칭 공정이 가능한 업체나 연구소좀 알려주시면 감사하겠습니다.
- Etcher
- Copper
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
한희님의 답변
2009-08-20- 0
> >제목 그대로 입니다. Si이 아닌 Copper샘플의 건식에칭에 대해 궁금해서 글을 씁니다. > >보통은 습식에칭을 통하여 공정을 하는데 재현성 확보가 어렵더군요. > >다른 업체나 연구소를 알아본 결과 건식에칭장비를 보유하고 있지만, Copper샘플을 힘들다고들 말씀을 하시더군요. > >혹시나 Copper의 건식에칭 공정이 가능한 업체나 연구소좀 알려주시면 감사하겠습니다. 구리의 경우 건식 식각이 되지 않는이유가 휘발성 물질이 존재하지 않기 때문입니다. 따라서 챔버내이 오염이 심하다고 할수 있습니다. Wet etch의 경우 재현성 확보를 위해서는 마일드한 분위기에서 실시하면 됩니다. 특히 과수나 유기산등으로요 -
답변
조종현님의 답변
2009-09-01- 0
> >제목 그대로 입니다. Si이 아닌 Copper샘플의 건식에칭에 대해 궁금해서 글을 씁니다. > >보통은 습식에칭을 통하여 공정을 하는데 재현성 확보가 어렵더군요. > >다른 업체나 연구소를 알아본 결과 건식에칭장비를 보유하고 있지만, Copper샘플을 힘들다고들 말씀을 하시더군요. > >혹시나 Copper의 건식에칭 공정이 가능한 업체나 연구소좀 알려주시면 감사하겠습니다. 충북 오창 소재 스템코에 상기 장비가 있는걸로 알고 있습니다. 문의해 보세요..