2009-09-01
org.kosen.entty.User@774d9530
나용배(nayb99)
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안녕하세요!
저희는 하드 디스크를 만들때 사용되는 specialty head를 만드는 업체 입니다.
Head 기판(wafer)의 물질은 Altic으로, Al2O3(알루미나)와 TiC가 혼합된 세라믹 재질의 4인치 웨이퍼 입니다.
수입처는 교세라 이구요...
이 wafer를 RIE 작업으로 가공을 하려는데, 반응가스가 무엇인지 궁금합니다.
자세한 내용을 알려 드리지 못해서 죄송합니다.
- RIE
- 반응 가스
- Altic wafer
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
김상훈님의 답변
2010-02-03- 0
Fluorine과 Argon 혼합기체입니다. 혼합비율은 공정에 따라 다르구요, Fluorine이 과다할 경우 TiC 부분이 더 많이 식각됩니다. 요즘엔 RIE 를 안쓰고 전부 ion milling으로 가공하는 곳도 있습니다. 이렇게 하면 시간은 오래걸리지만 처리된 기판의 roughness등 품질은 더 높습니다. >안녕하세요! >저희는 하드 디스크를 만들때 사용되는 specialty head를 만드는 업체 입니다. >Head 기판(wafer)의 물질은 Altic으로, Al2O3(알루미나)와 TiC가 혼합된 세라믹 재질의 4인치 웨이퍼 입니다. >수입처는 교세라 이구요... >이 wafer를 RIE 작업으로 가공을 하려는데, 반응가스가 무엇인지 궁금합니다. >자세한 내용을 알려 드리지 못해서 죄송합니다. >