2009-12-15
org.kosen.entty.User@1412cd3d
장종현(ican)
- 2
안녕하세요, 저는 Tantalum 표면에 양극산화 방법으로 Ta2O5를 코팅하려고 하였습니다.
J. Tate et al., Lanmuir, 16 (2000) 6054-6060. 논문을 참고하여,
Glass 기판 위에 Tantalum을 200 nm sputtering하고 패터닝한 후
10 mM citric acid에 담궈 상용 Ag/AgCl을 기준전극으로, Pt coil을 상대전극으로 하여
1 mm2의 Ta 작업전극으로 10~100 uA의 정전류를 인가해 보았습니다.
(위의 논문에서는 ~0.2 mA/cm2 = ~20 uA/mm2)
이론적으로는 정전류 인가 시 Ta2O5 절연층이 생성되어 두꺼워지면서 측정되는 전압이 점점 커져야 하지만
위의 방식으로 실험한 경우 측정된 전압이 오히려 감소하다가 saturation되는 현상이 일어났습니다.
제 실험의 어떤 조건이 잘못된 것인지 모르겠습니다.
혹, 해결 방안이나 다른 조건을 알고 계시면 조언 부탁드립니다.
감사합니다.
- Anodization
- Tantalum pentoxide
- Tantalum oxide
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
안길홍님의 답변
2009-12-17- 2
첨부 답변을 참고 바랍니다. -
답변
이상후님의 답변
2010-01-24- 0
>안녕하세요, 저는 Tantalum 표면에 양극산화 방법으로 Ta2O5를 코팅하려고 하였습니다. >J. Tate et al., Lanmuir, 16 (2000) 6054-6060. 논문을 참고하여, >Glass 기판 위에 Tantalum을 200 nm sputtering하고 패터닝한 후 >10 mM citric acid에 담궈 상용 Ag/AgCl을 기준전극으로, Pt coil을 상대전극으로 하여 >1 mm2의 Ta 작업전극으로 10~100 uA의 정전류를 인가해 보았습니다. >(위의 논문에서는 ~0.2 mA/cm2 = ~20 uA/mm2) >이론적으로는 정전류 인가 시 Ta2O5 절연층이 생성되어 두꺼워지면서 측정되는 전압이 점점 커져야 하지만 >위의 방식으로 실험한 경우 측정된 전압이 오히려 감소하다가 saturation되는 현상이 일어났습니다. >제 실험의 어떤 조건이 잘못된 것인지 모르겠습니다. >혹, 해결 방안이나 다른 조건을 알고 계시면 조언 부탁드립니다. >감사합니다. Tantalum 양극산화 관련 실험 자료입니다. 참고하세요.