2010-01-04
org.kosen.entty.User@79467626
조현주(hjc1113)
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SHOTT 사에서 열팽창이 작은 유리로 판매하는 Zerodur를 연마하고자 합니다.
연마의 정도가 옹거스트롬 단위까지 내려가는 초연마(super-polishing)을 하려고 하는데, 관련된 자료나 논문을 찾기 어렵습니다.
관련자료나 comment 부탁합니다.
- zerodur
- polishing
- 연마
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
김진석님의 답변
2010-01-04- 0
>SHOTT 사에서 열팽창이 작은 유리로 판매하는 Zerodur를 연마하고자 합니다. > >연마의 정도가 옹거스트롬 단위까지 내려가는 초연마(super-polishing)을 하려고 하는데, 관련된 자료나 논문을 찾기 어렵습니다. > >관련자료나 comment 부탁합니다. > 대구경 광학면 정밀가공을 위한 툴 영향 함수 기반 연마 제어 기법으로 국회도서관에 관련 내용이 있습니다. 제가 관여하는 공정은 그리 초연마 수준으로는 공정제어가 필요치 않는 샌드 페이퍼 수준으로 연마하는 공정을 관리하고 있으며,이를 보다 개선키 위해서 현재 설비 개선중에 있습니다.관련 자료를 현재 검토중이라 뭐라 말할순 없지만 앞으로 얼마후면 모두 레이져를 이용한 설비로 관련 연마 공정을 별도의 연마 매개체를 사용치 않더라도 연마가 되는 공정으로 진행되리라 판단됩니다.참조 하시기 바랍니다. -
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조윤환님의 답변
2010-01-04- 0
질문하신 내용에 대해선 비전문가 입니다만, 다양한 분야의 질문들을 찾아서 공부하는 재미에 검색을 하곤 합니다. 다음 링크에서 다운 받으실 수 있는 문헌(pdf)의 내용이 찾으시는 것과 일치하는 것 같아 올려 봅니다. 확인해 보시기 바랍니다. 1.기판의 표면에너지가 반사경의 산란에 미치는 영향(결론 부분에 초연마를 위한 연마액과 입자 등의 조건이 명시되어 있음.) http://www.osk.or.kr/dps/download.php?journal=journal&mode=pdf&file_name=12-H07059(%C0%CC%B9%FC%BD%C4).pdf 2.Flatness Correction of NZTE Mask Blank Substrates() http://www.schott.com/rd/german/download/fb0166.pdf 참고로 2번 문헌은 schott ag사 홈피의 기술 및 논문자료 부분에 있는 내용입니다. 영어버전 홈피엔 몇가지 없지만 독일어 버전 홈페이지엔 다양한 기술자료들이 있네요. http://www.schott.com/rd/german/download/index.html에서 더 많은 내용을 확인해 보시기 바랍니다. -
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이병철님의 답변
2010-10-26- 0
>SHOTT 사에서 열팽창이 작은 유리로 판매하는 Zerodur를 연마하고자 합니다.>>연마의 정도가 옹거스트롬 단위까지 내려가는 초연마(super-polishing)을 하려고 하는데, 관련된 자료나 논문을 찾기 어렵습니다.>>관련자료나 comment 부탁합니다. 미세 다이아몬드가 폴리에스터 필름에 부착된 polishing film이란 것이 있습니다. 이것으로 연마하고, 나중에 세륨이 부착된 film으로 연마하면 되지 않을 까요... 대량생산 조걱이라면 다이아몬드 폴리싱액을 이용하는 방법도 있습니다. 이번 질문만으로는 구체적인 답변을 드리기 어렵네요. 따로 연락을 주시기 바랍니다. dano2001@hanafos.com