2010-01-29
org.kosen.entty.User@1d105334
박희우(phw10111)
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스퍼터링할때
cathode에서 dc glow discharge해서 플라즈마를
쏘는데 중간에 절연체를 놨을때 절연체 표면에
floating potential이 생긴다고 합닌다.
potential이 위치에너지를 이야기하는것 같은데
아무튼 정확히 floating potential이 의미하는것이
무엇인지 가르쳐주시면 감사하겠습니다.
- floating potential
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
안길홍님의 답변
2010-01-29- 0
첨부 자료를 참고바랍니다. -
답변
이상후님의 답변
2010-01-30- 0
>스퍼터링할때 >cathode에서 dc glow discharge해서 플라즈마를 >쏘는데 중간에 절연체를 놨을때 절연체 표면에 >floating potential이 생긴다고 합닌다. > >potential이 위치에너지를 이야기하는것 같은데 >아무튼 정확히 floating potential이 의미하는것이 >무엇인지 가르쳐주시면 감사하겠습니다. 음전위에 의하여 전자의 흐름이 억제되어 전자의 유량과 이온의 유량이 균형을 이루게 되어, 정상 상태에 도달하게 됩니다. 이 때의 전위를 부동 전위(Floating Potential, Vf)라 하며 이 값은 플라즈마 전위에 대하여, Possion의 식과 Bohm Sheath 조건에 의하여 Vp-Vf = kTe/2e ln(mi/2.3me) 여기서 Vp = 플라즈마 전위로 표시됩니다. 플라즈마 전위에서 부동 전위, 외부에서 가해준 전기장의 전위 또는 접지 전위(Ground Potential)로 변화되는 부분을 Sheath 영역이라 합니다. 또한 플라즈마 상태에서 빛이 발생되는 것은 여기 된 상태(Excited State)의 원자들에서 전자들의 천이에 의한 것이므로 빛의 세기는 전자의 밀도 에너지에 따라 변화합니다. 그러므로 전자의 밀도가 적은 Sheath영역은 어두운 부분이 됩니다. 결구 플라즈마는 항상 어두운 Sheath 영역으로 둘러 쌓이게 됩니다. 이렇게 형성된 Sheath영역을 극복해서 전자가 전극에 도달하기 위해서는 e(Vp - Vf)의 전위차를 극복해야 하므로 e(Vp - Vf)보다 큰 에너지를 갖는 전자만이 전극에 도달하게 됩니다. 자세한 내용은 첨부파일 참고하세요.