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지식나눔

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코팅된 Pt, Au를 제거하는 방법

2010-02-05 org.kosen.entty.User@6eeb820e 전준(tkbabylon)
  • 2
안녕하세요. 제가 확산방지층으로 Ag에 Pt, Au, Ti를 코팅을 하고자 합니다. 코팅은 스퍼터 같은것으로 한다하면, 제거는 어떻게 하는지 알려주시면 감사하겟습니다.
  • 제거
  • Pt
  • Au
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답변 2
  • 답변

    안길홍님의 답변

    2010-02-05
    • 1
    >안녕하세요. > >제가 확산방지층으로 Ag에 Pt, Au, Ti를 코팅을 하고자 합니다. > >코팅은 스퍼터 같은것으로 한다하면, 제거는 어떻게 하는지 알려주시면 감사하겟습니다. plasma dry etching방법이 가장 적절한 방법같습니다.
    답변수정
    >안녕하세요. > >제가 확산방지층으로 Ag에 Pt, Au, Ti를 코팅을 하고자 합니다. > >코팅은 스퍼터 같은것으로 한다하면, 제거는 어떻게 하는지 알려주시면 감사하겟습니다. plasma dry etching방법이 가장 적절한 방법같습니다.
    등록된 댓글이 없습니다.
  • 답변

    진현지님의 답변

    2018-01-31
    • 1
    왕수로 녺이시면 됩니다~~
    답변수정
    왕수로 녺이시면 됩니다~~
    등록된 댓글이 없습니다.
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