2010-03-24
org.kosen.entty.User@743527f4
김지수(soo0201)
- 1
질문이 있습니다.
BHF 용액을 만드려하는데
HF:DI water를 1:6으로 섞는 것으로 알고 있습니다.
여기서 HF는 100%의 HF인가요? 아니면 49%의 HF를 말하는 것인가요??
- etching
- HF
- BHF
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
-
답변
이응신님의 답변
2010-03-24- 1
HF를 사용하는 곳에 가서 살펴보았지만 100% 용액은 없습니다. 49% 나 1%가 있으나 실제로 라인에 투입되는 HF용액은 1% 입니다. 웨이퍼를 커팅하거나 LCD 패널을 커팅하고 남은 유리조각이나 가루를 씻어내는 목적으로 사용한다고 하나 세부적인 내용은 업체 비밀이라서 더 자세히는 알 수 없습니다. 49% 이야기가 나오는 것은 공급업체에서 49%로 생산하기 때문입니다. 왜 그런지는 화공전공이 아니라서 잘 알 수 없군요. 49% 자체를 사용하지는 않습니다. 인텔같은 회사에서는 1% 자체 용액을 공급받는다고 하나 한국의 반도체/LCD 업체에서는 49%를 가지고 와서 1%로 희석하는 장치를 만들어 운영하는 것이 훨씬 더 저렴해서 사용한다고 합니다. 1:6으로 희석한다고 하는데... 그렇지는 않습니다. 실제로 1%로 희석하는 장치를 보면 반도체에서는 100 L를 기준으로 섞고 LCD라인에서는 1000 L를 기준으로 합니다. 그 양에 가까이 갔을 때 고정밀 농도계로 측정하여 1%를 맞춰야 하므로 제어하는 순서를 보면 90 L에 가까이 가면 49% HF를 방울 단위로 떨어뜨려 1%로 정확하게 맞춥니다. 오차는 1/1000 %로 합니다. 물론 계기를 세팅할 때 약간의 오차를 둡니다만... >질문이 있습니다. > >BHF 용액을 만드려하는데 >HF:DI water를 1:6으로 섞는 것으로 알고 있습니다. > >여기서 HF는 100%의 HF인가요? 아니면 49%의 HF를 말하는 것인가요??