2011-02-23
org.kosen.entty.User@47aa6b6a
주세헌(everplus)
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마이크로 발전기에 관해 프로젝트를 진행중입니다
자석을 붙여서 돌아가는 발전기를 생각중에
떠오른 생각이 자석 자체를 만들어 보는 것이었습니다.
반도체 공정을 통해서(상온) 마그네틱필드를 가지는 물질(?) 상태(?) 를
만들 수 있는지 궁금합니다.
기존의 네오디늄 자석과 비교해서 그 세기의 차이도 궁금합니다.
mit 에서 만들었던 mems 가스터빈 발전기 에서
시작된 것이라 그에 관한 논문도 어디서 구할 수 있는지 알려 주시면 감사하겠습니다.
일교차가 심한 계절입니다
감기 조심하시길 바랍니다.
- 반도체
- 자성체
- 공정
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 4
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답변
이영애님의 답변
2011-02-25- 0
자성체 물질을 선택해서 스퍼터링(sputtering)을 이용해서 올리시면 됩니다. 논문은 아래것이 맞는지 모르겠습니다. "Fabrication and characterization of a micro turbine/bearing rig." Chuang-Chia Lin Ghodssi, R. Ayon, A.A. Dye-Zone Chen Jacobson, S. Breuer, K. Epstein, A.H. Schmidt, M.A. Microsyst. Technol. Lab., MIT, Cambridge, MA This paper appears in: Micro Electro Mechanical Systems, 1999. MEMS '99. Twelfth IEEE International Conference on Issue Date : 17-21 Jan 1999 On page(s): 529 Location: Orlando, FL Meeting Date : 17 Jan 1999-21 Jan 1999 Print ISBN: 0-7803-5194-0 References Cited: 7 INSPEC Accession Number: 6375586 Digital Object Identifier : 10.1109/MEMSYS.1999.746884 좋은 하루 보내세요. -
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박장식님의 답변
2011-02-26- 0
수고하십니다. 자성체 박막은 주로 자성체 재료를 타？으로 해서 DC 혹은 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작하고 있습니다. 따라서 반도체 공정으로 제작가능합니다. 그러나 모터에 사용할 정도의 자성체 박막제작은 많은 시간이 소요될 것으로 생각됩니다. 오랫동안 연구해 온 분야라 많은 발표문헌이 있습니다. 참고로 한국재료학회에 발표된 논문을 참조하세요. (FeCoSiB계 아몰퍼스 자성박막의 임피던스 효과, 신용진외 5인 한국재료학회 8(1998)252) 그리고 논문은 한국재료학회 홈페이지에 많이 발표되고 있습니다. > 마이크로 발전기에 관해 프로젝트를 진행중입니다 > >자석을 붙여서 돌아가는 발전기를 생각중에 > >떠오른 생각이 자석 자체를 만들어 보는 것이었습니다. > >반도체 공정을 통해서(상온) 마그네틱필드를 가지는 물질(?) 상태(?) 를 > >만들 수 있는지 궁금합니다. > >기존의 네오디늄 자석과 비교해서 그 세기의 차이도 궁금합니다. > >mit 에서 만들었던 mems 가스터빈 발전기 에서 > >시작된 것이라 그에 관한 논문도 어디서 구할 수 있는지 알려 주시면 감사하겠습니다. > >일교차가 심한 계절입니다 > >감기 조심하시길 바랍니다. -
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김도형님의 답변
2011-02-28- 0
윗 분들이 말씀드린대로 반도체 공정을 통한 자성체 제작은 가능합니다. 다만 자성의 세기에 대하여 기존의 벌크 자석 등과의 직접 비교는 어려울 것으로 생각됩니다. 나노/마이크로미터 크기 수준이므로 자성이 매우 미약하기 때문입니다. 그럼에도 불구하고 MEMS/NEMS 공정을 통한 모터제작이 가능할 것으로 생각되는 것은 구동체 역시 나노/마이크로 수준이고 무게도 가볍기 때문입니다. 따라서 기존 벌크자석과 직접 비교보다는 구동체의 질량 등을 고려한 토크 계산 등을 통해서 필요한 자장의 세기 등을 먼저 확인해 보는 것이 좋을 듯 싶습니다. > 마이크로 발전기에 관해 프로젝트를 진행중입니다 > >자석을 붙여서 돌아가는 발전기를 생각중에 > >떠오른 생각이 자석 자체를 만들어 보는 것이었습니다. > >반도체 공정을 통해서(상온) 마그네틱필드를 가지는 물질(?) 상태(?) 를 > >만들 수 있는지 궁금합니다. > >기존의 네오디늄 자석과 비교해서 그 세기의 차이도 궁금합니다. > >mit 에서 만들었던 mems 가스터빈 발전기 에서 > >시작된 것이라 그에 관한 논문도 어디서 구할 수 있는지 알려 주시면 감사하겠습니다. > >일교차가 심한 계절입니다 > >감기 조심하시길 바랍니다. -
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이우진님의 답변
2011-03-09- 0
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