2011-04-20
org.kosen.entty.User@68e009a
정영의(bluenajjang)
- 2
현재 Double side Polishing된 Si wafer를 구매할려고 하는데요
* Grade : Prime
* Growing method : FZ
* Type/Dopant : N-Type/Ph
* Orientation : <100>
* Resistivity : FZ 600-1,200 ohm cm
* SEMI two flats
* Surface : Polished
* Backside : Polished
* Thickness : 300+/- 25 Micro.
* Other spec is SEMI standard
* Made in Europe
자세한 스펙은 이렇습니다.
여기서 궁금한게 SEMI two flats라는게 무엇을 의미하는지 모르겠습니다.
상세한 설명 부탁드립니다^^;;
Si wafer는 처음이라 모르는 부분이 많아서 질문을 드립니다 ㅠㅠ
* Grade : Prime
* Growing method : FZ
* Type/Dopant : N-Type/Ph
* Orientation : <100>
* Resistivity : FZ 600-1,200 ohm cm
* SEMI two flats
* Surface : Polished
* Backside : Polished
* Thickness : 300+/- 25 Micro.
* Other spec is SEMI standard
* Made in Europe
자세한 스펙은 이렇습니다.
여기서 궁금한게 SEMI two flats라는게 무엇을 의미하는지 모르겠습니다.
상세한 설명 부탁드립니다^^;;
Si wafer는 처음이라 모르는 부분이 많아서 질문을 드립니다 ㅠㅠ
- 실리콘 웨이퍼
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
유희영님의 답변
2011-04-21- 3
>현재 Double side Polishing된 Si wafer를 구매할려고 하는데요 >* Grade : Prime >* Growing method : FZ >* Type/Dopant : N-Type/Ph >* Orientation : <100> >* Resistivity : FZ 600-1,200 ohm cm >* SEMI two flats >* Surface : Polished >* Backside : Polished >* Thickness : 300+/- 25 Micro. >* Other spec is SEMI standard >* Made in Europe >자세한 스펙은 이렇습니다. > >여기서 궁금한게 SEMI two flats라는게 무엇을 의미하는지 모르겠습니다. > >상세한 설명 부탁드립니다^^;; > >Si wafer는 처음이라 모르는 부분이 많아서 질문을 드립니다 ㅠㅠ >*간략하게 답변드립니다. >첨부한 Site 내용 보시면 기본적인 Si Wafer의 Inforamtion은 알 수 있습니다. >Si Wafer 제조방법 분류 FZ / CZ (Floating-zone growth / Czochralski growth) >Thikness : Wafer Thickness 를 말하고 >Diameter : Wafer Size(직경) (일반적으로 2inch/ 4inch/ 6inch/ 8inch/ 12inch) >위내용엔 Diameter가 없어서 확실하지는 않지만 3inch Wafer 같은데요. >Wafer size별 Thickness (General Thickness) >(2inch 275um/3inch 375um/4inch 525um/6inch 675um/8inch 725um/12inch 775um) >Wafer 구별하기 위한 방법 (8inch 이하 Flat / 12inch notch) >보통 1Flat은 Direction (100), (111) 구별 >보통 2Flat은 P Type 과 N Type 구별 >그래서 2Flat을 사용함. SEMI Two Flats은 이 규격을 따른것을 표기함 >첨부한 Site 보시면 구별할 수 있게 나와 있습니다. >12inch (300mm)는 보통 (100) P-type 이 메인 입니다. >aligne을 위해 하단에 작은 삼각형 홈을 파서 notch라 합니다. >수고하세요. -
답변
이형주님의 답변
2011-04-21- 2
>현재 Double side Polishing된 Si wafer를 구매할려고 하는데요 >* Grade : Prime >* Growing method : FZ >* Type/Dopant : N-Type/Ph >* Orientation : <100> >* Resistivity : FZ 600-1,200 ohm cm >* SEMI two flats >* Surface : Polished >* Backside : Polished >* Thickness : 300+/- 25 Micro. >* Other spec is SEMI standard >* Made in Europe >자세한 스펙은 이렇습니다. > >여기서 궁금한게 SEMI two flats라는게 무엇을 의미하는지 모르겠습니다. > >상세한 설명 부탁드립니다^^;; > >Si wafer는 처음이라 모르는 부분이 많아서 질문을 드립니다 ㅠㅠ 구매처 한 곳을 알려드립니다. 문의하신 부분의 자세한 사항들은 판매처에서 자세하게 설명해 드릴겁니다. 1.태원과학주식회사 02-747-7350 2.네오세미테크 032-720-1062
저도 계속해서 찾아봐서 어느정도 까진 알았는데 제시해 주신 사이트에서 확인해보니 더 자세하게 알 수가 있었습니다. 좋은 정보 감사합니다.