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MF(middle frequency) Sputtering에 있어서, Dual Cathode(magnetron)을 사용하게 됩니다.
제가 본 것 중에는 모두 Magnet이 정지하는 type을 사용하더라구요.
이렇게 되면 Target 사용 효율이 낮은데, Magnet을 moving type으로 바꾸면 효율이 더 높아 질 수 있을거라 생각됩니다.
혹시 기존에 Magnet을 Moving 하지 않는 이유가 따로 있는지 알고싶습니다.
MF Power 문제인지, magnetron 구조문제인지, 산화물에 의한 Particle 문제인지에 대한 설명 부탁드립니다.
관련 자료가 있으면 더욱 좋겠습니다.
- MF
- Sputtering
- Middle frequency
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변
김형근님의 답변
2011-11-15- 2
안녕 하세요.
전 DC 플라즈마 코팅을 하지만, 도움이 될까해서 참고논문을 찾아 보내드립니다.
고정형 마그넷을 쓰는 이유는 대량생산의 실효성에 기인하고 있는것으로 알고 있습니다.
말씀하신데로, 코팅 응용에 따라 고정형이 아닌 움직이는 마그넷 장치가 있다는 논문을 찾을 수 있었습니다.
도움이 되었으면 합니다.
혹, 파일이 안열리면 메일 주세요.
감사합니다.
-------------------------------------질문-------------------------------------
MF(middle frequency) Sputtering에 있어서, Dual Cathode(magnetron)을 사용하게 됩니다.
제가 본 것 중에는 모두 Magnet이 정지하는 type을 사용하더라구요.
이렇게 되면 Target 사용 효율이 낮은데, Magnet을 moving type으로 바꾸면 효율이 더 높아 질 수 있을거라 생각됩니다.
혹시 기존에 Magnet을 Moving 하지 않는 이유가 따로 있는지 알고싶습니다.
MF Power 문제인지, magnetron 구조문제인지, 산화물에 의한 Particle 문제인지에 대한 설명 부탁드립니다.
관련 자료가 있으면 더욱 좋겠습니다.
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답변
배은현님의 답변
2011-11-15- 0
Dual magnetron의 경우 MF를 사용하는 경우가 많이 있습니다. 이또한 일반적으로는 평판형 magnetron source를 사용합니다.
Moving magnet의 경우..
-. Cylinder Source를 사용하는 경우
-. 평판형 source에서 Magnet를 움직이는데 좌우이동/ 한방향 상하이동/양방향 상하이동/ 좌우이동하는 방법이 있는데 이모두 전산모사해서 실제작을 해보면 문제점이 발생합니다. 즉, 쉽지않은 방법입니다. 어느곳엔가 방전라인이 겹처지는 현상이 발생합니다.
-. Circular type의 경우 moving 을 하면 상당히 효율을 올릴 수 있습니다. 다만, magnet의 형상을 잘 고려하여 특수한 형태로 제작하여 움직여야 합니다.
따라서 제 경험으로는 cylinder type의 Magnetron이 효율성이 좋다고 생각되며 일단, moving source의 경우 제작비용이 상당히 증가됨을 참조하시기 바랍니다.
특히, magnetron source를 제작할 때 전산모사를 하여도 제경험으로는 절대 실제작에서와 차이가 발생하여 공정실험을 하면서 보완을 해야하는 고생이 많이 따른다는 생각이 듭니다.
목적하는 바에 따라서 비용이 비싸고 어려운 방법을 사용하지 않고 경제성과 운용방법을 고려하여 결정하여야 한다고 사료됩니다.
얇팍한 경험을 드리니 도움이 되기를 바랍니다.
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MF(middle frequency) Sputtering에 있어서, Dual Cathode(magnetron)을 사용하게 됩니다.
제가 본 것 중에는 모두 Magnet이 정지하는 type을 사용하더라구요.
이렇게 되면 Target 사용 효율이 낮은데, Magnet을 moving type으로 바꾸면 효율이 더 높아 질 수 있을거라 생각됩니다.
혹시 기존에 Magnet을 Moving 하지 않는 이유가 따로 있는지 알고싶습니다.
MF Power 문제인지, magnetron 구조문제인지, 산화물에 의한 Particle 문제인지에 대한 설명 부탁드립니다.
관련 자료가 있으면 더욱 좋겠습니다.