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FT-IR로 실리콘 웨이퍼 정성분석 가능여부

FT-IR로 실리콘 웨이퍼를 정성분석하려고 하는데, 투과방법과 ATR법을 써서 측정해보았으나 피크가 브로드 하게 나옵니다. 다른 방법이 있는지 궁금합니다.

  • FT-IR
  • 기기분석
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답변 2
  • 답변

    강광철님의 답변

     박사학위논문한편 올려요. 참고하세요..



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    FT-IR로 실리콘 웨이퍼를 정성분석하려고 하는데, 투과방법과 ATR법을 써서 측정해보았으나 피크가 브로드 하게 나옵니다. 다른 방법이 있는지 궁금합니다.무엇을 보시

     박사학위논문한편 올려요. 참고하세요..



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    FT-IR로 실리콘 웨이퍼를 정성분석하려고 하는데, 투과방법과 ATR법을 써서 측정해보았으나 피크가 브로드 하게 나옵니다. 다른 방법이 있는지 궁금합니다.무엇을 보시

    B4N,C-BN 성분을 확인하고 싶습니다. 백그라운드를 SI 웨이퍼로 잡고, SI,B4N,C-BN 웨이퍼를 투과법으로 측정해보았는데 피크가 브로드하게 나오네요.

    투과방법으로 측정을 해보았는데 논문과 비슷하게 C-BN , H-BN 피크가 나오네요. 그런데 C-BN 피크가 악하게 나오는것으로 보아 증착이 잘못된거 같습니다.. 답변 감사합니다.

    그제 생각으로는 증착이 덜 된것 같네요...

  • 답변

    김상태님의 답변

     

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    FT-IR로 실리콘 웨이퍼를 정성분석하려고 하는데, 투과방법과 ATR법을 써서 측정해보았으나 피크가 브로드 하게 나옵니다. 다른 방법이 있는지 궁금합니다.

    -고체형 시료를 다루는 시약으로 용도의 기기를 사용하기 바람 

     

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    FT-IR로 실리콘 웨이퍼를 정성분석하려고 하는데, 투과방법과 ATR법을 써서 측정해보았으나 피크가 브로드 하게 나옵니다. 다른 방법이 있는지 궁금합니다.

    -고체형 시료를 다루는 시약으로 용도의 기기를 사용하기 바람 

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