2011-12-26
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유재웅(krmarine)
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FT-IR로 실리콘 웨이퍼를 정성분석하려고 하는데, 투과방법과 ATR법을 써서 측정해보았으나 피크가 브로드 하게 나옵니다. 다른 방법이 있는지 궁금합니다.
- FT-IR
- 기기분석
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
강광철님의 답변
2011-12-26- 0
박사학위논문한편 올려요. 참고하세요..
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FT-IR로 실리콘 웨이퍼를 정성분석하려고 하는데, 투과방법과 ATR법을 써서 측정해보았으나 피크가 브로드 하게 나옵니다. 다른 방법이 있는지 궁금합니다.무엇을 보시
유재웅(krmarine) 2011-12-27투과방법으로 측정을 해보았는데 논문과 비슷하게 C-BN , H-BN 피크가 나오네요. 그런데 C-BN 피크가 악하게 나오는것으로 보아 증착이 잘못된거 같습니다.. 답변 감사합니다.
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답변
김상태님의 답변
2011-12-30- 0
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FT-IR로 실리콘 웨이퍼를 정성분석하려고 하는데, 투과방법과 ATR법을 써서 측정해보았으나 피크가 브로드 하게 나옵니다. 다른 방법이 있는지 궁금합니다.
-고체형 시료를 다루는 시약으로 용도의 기기를 사용하기 바람
B4N,C-BN 성분을 확인하고 싶습니다. 백그라운드를 SI 웨이퍼로 잡고, SI,B4N,C-BN 웨이퍼를 투과법으로 측정해보았는데 피크가 브로드하게 나오네요.