2012-02-09
org.kosen.entty.User@542c2659
김형민(khm811)
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안녕하세요?
몰리브덴 sheet나 텅스텐 sheet 0.1 ~ 0.2mm 두께를 chemical로 식각하여 patterning 하고자 합니다.
기존 상업용으로 나오는 chemical을 구하여 etching을 하면 몇시간씩 걸려서 etching이 되는데,
가능한 chemical 종류 부탁드립니다.
감사합니다.
- 텅스텐
- 몰리브덴
- 식각
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
김강형님의 답변
2015-02-02- 0
예전에 텅스텐 탐침 가공할 때 쓰는 방법을 검색해 본 적이 있어서 도움이 되실까 해서 올립니다.
텅스텐 전해액으로는 NaOH용액이 많이 사용됩니다.
가열된 HF+NNO3 용액에서 에칭하면 급속용해됩니다. 단, 불산이 약산이지만 피부에 닿으면 스며들어 뼈의 골수세포를 파괴하는 독성이 있어 주의해야 합니다.
NaOH에서 전해에칭하면 WO3가 생성되더라도 다른 알카리와 달리 불용성 양극피막이 생성되지 않고 텅스텐염으로 용출하여 지속적인 에칭이 가능하다고 합니다.
양극에 전류 흐름에 방해되지 않을 정도의 기포방지벽을 설치하여 백금 전극에서 생기는 기포가 텅스텐에 닿지 않게 하는 것이 불균일한 에칭을 방지하는 요령이라고 합니다.