지식나눔

e beam 장비관련

기존 MgO 증착 사용하던 e beam을 Al 증착을 시도 하였는데 빔이 정상적으로 작동이 되지 않고 증착이 되지않습니다. 같은 e beam 장치에서 pallet변경시 ...Al증착하기 위해서는 mgO 증착과는 기구적으로 개조가 필요한지? 전문가 이시분의 조언 부탁드립니다.
  • 증착
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