2013-06-11
org.kosen.entty.User@5cabf84f
최인호(pkhcih)
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3000 옹스트롱 AL2O3 XRD 분석시 피크가 명확히 나오지 않고 아몰포스 처럼 나오는데 무엇이 잘못 되었나요? 이 박막경우 다른 분석기를 사용해야 하는지?.알고 싶습니다.
- XRD
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답변 3
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답변
이종호님의 답변
2013-06-13- 0
먼저 분석하시고자 하는 Al2O3 박막을 어떤방법을 통해 성막하셨는지 궁금합니다. 대체적으로 증착공정을 통해 성막한 박막은 비정질상태를 나타냅니다. 열처리 등 후처리를 하면 결정질로 변화합니다. 그리고 분석방법도 일반적인 XRD 회절분석장치가 아니라 박막분석용인 HR-XRD(고해상도)를 사용해서 분석해야 합니다. 참고하시기 바랍니다. 이상입니다. -
답변
안지훈님의 답변
2013-06-13- 0
어떤 기판에 성막시키셨는지, 어떠한 방법으로 성막을 시키셨는지, 후속 열처리 여부등에 따라 진짜 비정질인지 아니면 분석이 잘못 되었는지 알 수 있을 것 같습니다. 3000 옹스트롱 정도면 일반적인 XRD로 충분히 신뢰성 있게 분석 가능합니다. 만약에 XRD에서 비정질로 관찰이 된다면 실제로 형성시키신 막이 비정질일 가능성이 높습니다. 눈으로 확인하고 싶으시다면 TEM이나 SEM분석을.. -
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김민정님의 답변
2013-06-17- 0
Al2O3는 제가 지금까지 분석해본 결과 XRD 찍으면 peak가 뚜렷하게 나오는 편이라 peak가 명확히 안 나온 이유는 모르겠지만 다시 한번 더 분석해보시는 것이 좋을거 같습니다. 참고로 저는 HR-XRD로만 분석을 합니다.