2013-11-08
org.kosen.entty.User@4e71a859
김기용(hitred)
- 1
안녕하세요.
전자소자를 연구중인 석사 생입니다.
연구실에서 shadow mask를 주문하였는데 모든 조건을 다 따？는데
두께에 대해서 미처 고려를 못하였습니다.
S/D 증착시킬 E beam evaporation, Sputtter로
0.1mm 두께의 shadow mask가 진공잡을때 휘지 않을까 걱정하는데
괜찮은지 알려주세요.
감사합니다.
전자소자를 연구중인 석사 생입니다.
연구실에서 shadow mask를 주문하였는데 모든 조건을 다 따？는데
두께에 대해서 미처 고려를 못하였습니다.
S/D 증착시킬 E beam evaporation, Sputtter로
0.1mm 두께의 shadow mask가 진공잡을때 휘지 않을까 걱정하는데
괜찮은지 알려주세요.
감사합니다.
- shadow mask
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
이상호님의 답변
2013-11-10- 0
0.1 mm 두께에서 shadow mask 가 휠 것 같지는 않습니다. 특히 학교에서는 shadow mask가 크기 않을 것이므로 아주 높은 온도가 가해지지 않는한 mask를 휘게할 driving force은 없습니다. e-beam evaporator나 sputter를 사용하시면 온도가 아주 높지도 않을 것입니다. 공정 중에 mask가 휘는 것 보다는 mask가 시료에 잘 부착되도록 하는 것이 더 critical한 조건이 될 것 같군요.