2014-01-13
org.kosen.entty.User@7ebf8209
안알랴줌(s9342492)
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안녕하세요
xpert epitaxy란 프로그램으로 AlN 시뮬레이션 하는 도중 궁금한 것이 있어 글 올립니다.
AlGaN 의 (102) 방향으로 2 peak points의 조성비를 알기 위해
template의 AlN의 cutoff angle 값을 넣어야 하는 상황입니다.
AlN 의 cutoff angle 값을 어디서 알 수 있을까요?
xpert epitaxy란 프로그램으로 AlN 시뮬레이션 하는 도중 궁금한 것이 있어 글 올립니다.
AlGaN 의 (102) 방향으로 2 peak points의 조성비를 알기 위해
template의 AlN의 cutoff angle 값을 넣어야 하는 상황입니다.
AlN 의 cutoff angle 값을 어디서 알 수 있을까요?
- HRXRD
- cutoff angle
- 결정성장
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
신동협님의 답변
2014-01-15- 0
일단 시료구성은 AlN기판 위에 AlGaN 막이 올라간 것인지 정확하게 모르겠습니다.
만약 위 내용이 맞고, AlN 기판의 cutoff angle, 즉 tilt 각도를 말하는거라면
계산해서 알수 있는 값은 아니고, 측정을 해서 값을 알아내거나
아니면 AlN 기판을 구입할때 정의된 값을 확인하거나 해야할 것 같습니다.
(업체에 따라 값을 표기하는데도 있으나 아닌 경우도 많이 봤습니다)
질문자 님의 의도에 정확히 맞는 답변인지 잘 모르겠습니다.
추가로 HR-XRD에 대해 제일 잘 아는 분이 KBSI 대구분소 이상걸박사님입니다.홈페이지 잘 되어 있으니 전화번호 찾아서 여쭈보시면 좋을 것 같습니다.
하시는 연구에 도움이 되었으면 합니다.