지식나눔

물질이 치환 됐는지 알아 보는방법

LiMn2O4 박막 위에 Cr2O3박막을 증착했습니다. 그러곤 어떤 공정에 의해서 LiMn2O4의 Mn자리에 Cr2O3의 Cr을 치환하려고 합니다.

치환이 되었는지 눈으로 집접 확인해볼 방법이 있습니까?

없다면 어떤 방법을 통해서 치환 되었는지 확인이 가능합니까?
 
  • 재료
  • 치환
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답변 3
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    이훈희님의 답변

    가장 간단하게는 XRD분석을 해 보면 어떨까 싶습니다. Cr이 치환된다면 결정구조가 변화될 것으로 생각되는데요. 
    참고: Solid State Ionics 152-153 (2002) 335-339
    가장 간단하게는 XRD분석을 해 보면 어떨까 싶습니다. Cr이 치환된다면 결정구조가 변화될 것으로 생각되는데요. 
    참고: Solid State Ionics 152-153 (2002) 335-339
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    이배훈님의 답변

    eds xps 를 통해 박막위에  원소 sperctrum을 얻을 수  있습니다.
    XPS를 통해 좀더 정확한 자료를 얻을 수 있습니다 
    eds xps 를 통해 박막위에  원소 sperctrum을 얻을 수  있습니다.
    XPS를 통해 좀더 정확한 자료를 얻을 수 있습니다 
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    변성천님의 답변

    증착된 박막 두께가 얼마인지가 궁금합니다. 박막두께가 얇다면 치환이 되더라도 CR이 분석되지 않을 수 있습니다. 수십 nm이하이면 EDS, XRD에서는 Cr 피크가 나오지 않을 수 있습니다. 그 정도로 얇다면 XPS에서 분석하는 것이 맞습니다. 전에 Ag로 전체 코팅된 샘플을 분석했는데, XPS에서는 100%으로 확인되는데 EDS에서는 없는 것으로 분석되었습니다. 이것은 분석원리가 분석두께의 차이때문입니다. XPS에서 10nm 이내가 분석되고, EDS에서 1-3um까지 분석되어 표면분석는 것의 분석되지 않고 베이스 기판이 분석되는 경우가 종종 발생합니다.
    증착된 박막 두께가 얼마인지가 궁금합니다. 박막두께가 얇다면 치환이 되더라도 CR이 분석되지 않을 수 있습니다. 수십 nm이하이면 EDS, XRD에서는 Cr 피크가 나오지 않을 수 있습니다. 그 정도로 얇다면 XPS에서 분석하는 것이 맞습니다. 전에 Ag로 전체 코팅된 샘플을 분석했는데, XPS에서는 100%으로 확인되는데 EDS에서는 없는 것으로 분석되었습니다. 이것은 분석원리가 분석두께의 차이때문입니다. XPS에서 10nm 이내가 분석되고, EDS에서 1-3um까지 분석되어 표면분석는 것의 분석되지 않고 베이스 기판이 분석되는 경우가 종종 발생합니다.
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